[發(fā)明專利]介質(zhì)窗的溫控裝置及應(yīng)用其的反應(yīng)腔室

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710235663.5
• 申請(qǐng)日: 2017-04-12
• 公開（公告）號(hào): CN108695148B
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 茅興飛;李華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/3065
• 分類號(hào): H01L21/3065;H01J37/32
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

1.一種介質(zhì)窗的溫控裝置，其特征在于，包括：

腔體，其與所述介質(zhì)窗形成封閉空腔，所述腔體還包括進(jìn)氣口和出氣口；

氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)，用于將熱交換氣體通過所述進(jìn)氣口輸送至所述封閉空腔內(nèi)，同時(shí)通過所述出氣口抽取所述封閉空腔內(nèi)的熱交換氣體；

所述氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)包括出氣管路、進(jìn)氣管路、空氣放大器和空氣加熱器，其中，

所述空氣放大器的進(jìn)氣端通過所述出氣管路與所述出氣口連接；所述空氣放大器的出氣端與所述空氣加熱器的進(jìn)氣端連接；所述空氣加熱器的出氣端通過所述進(jìn)氣管路與所述進(jìn)氣口連接，以使所述封閉空腔僅用于容納所述熱交換氣體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的介質(zhì)窗的溫控裝置，其特征在于，所述空氣放大器輸出的氣體流量為50～200L/min。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的介質(zhì)窗的溫控裝置，其特征在于，所述空氣放大器包括氣體流量檢測(cè)裝置、氣體流量調(diào)節(jié)裝置和報(bào)警裝置，其中，

所述氣體流量檢測(cè)裝置用于檢測(cè)輸出的當(dāng)前氣體流量，并將其發(fā)送至所述報(bào)警裝置；

所述報(bào)警裝置用于判斷所述當(dāng)前氣體流量是否低于預(yù)設(shè)閾值，若是，則發(fā)出報(bào)警；

所述氣體流量調(diào)節(jié)裝置用于調(diào)節(jié)輸出的氣體流量大小。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的介質(zhì)窗的溫控裝置，其特征在于，所述氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)包括出氣管路、進(jìn)氣管路、風(fēng)扇和空氣加熱器，其中，

所述風(fēng)扇的進(jìn)氣端通過所述出氣管路與所述出氣口連接；所述風(fēng)扇的出氣端與所述空氣加熱器的進(jìn)氣端連接；所述空氣加熱器的出氣端通過所述進(jìn)氣管路與所述進(jìn)氣口連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的介質(zhì)窗的溫控裝置，其特征在于，所述溫控裝置還包括溫度控制器，所述溫度控制器包括溫度檢測(cè)單元、功率調(diào)節(jié)單元和控制單元，其中，

所述溫度檢測(cè)單元設(shè)置在所述介質(zhì)窗朝向所述封閉空腔的表面上，用以檢測(cè)所述介質(zhì)窗的實(shí)際溫度，并將其發(fā)送至所述控制單元；

所述控制單元用于將所述介質(zhì)窗的實(shí)際溫度與預(yù)設(shè)溫度進(jìn)行差比較，并根據(jù)比較結(jié)果控制所述功率調(diào)節(jié)單元調(diào)節(jié)所述空氣加熱器的加熱功率。

6.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的介質(zhì)窗的溫控裝置，其特征在于，所述空氣加熱器包括自動(dòng)斷電保護(hù)裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的介質(zhì)窗的溫控裝置，其特征在于，在所述腔體內(nèi)設(shè)置有隔板，用以將所述封閉空腔隔離形成至少兩個(gè)子空腔，且所述至少兩個(gè)子空腔相對(duì)于所述腔體的軸向中心線對(duì)稱分布；

一個(gè)所述進(jìn)氣口和一個(gè)所述出氣口為一組，且每個(gè)所述子空腔對(duì)應(yīng)一組所述進(jìn)氣口和所述出氣口及一套所述氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-4任意一項(xiàng)所述的介質(zhì)窗的溫控裝置，其特征在于，所述溫控裝置還包括加熱帶，所述加熱帶環(huán)繞設(shè)置在所述介質(zhì)窗的外周壁上，用以加熱所述介質(zhì)窗。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的介質(zhì)窗的溫控裝置，其特征在于，所述溫控裝置還包括溫度控制器，所述溫度控制器包括邊緣溫度檢測(cè)單元、中心溫度檢測(cè)單元、邊緣溫度調(diào)節(jié)單元、中心溫度調(diào)節(jié)單元和控制單元，其中，

所述邊緣溫度檢測(cè)單元和中心溫度檢測(cè)單元用于分別檢測(cè)所述介質(zhì)窗的邊緣區(qū)域?qū)嶋H溫度和中心區(qū)域?qū)嶋H溫度，并發(fā)送至所述控制單元；

所述控制單元用于將所述邊緣區(qū)域?qū)嶋H溫度與預(yù)設(shè)的邊緣區(qū)域目標(biāo)溫度進(jìn)行差比較，并根據(jù)比較結(jié)果控制所述邊緣溫度調(diào)節(jié)單元調(diào)節(jié)所述加熱帶的加熱功率；以及，將所述中心區(qū)域?qū)嶋H溫度與預(yù)設(shè)的中心區(qū)域目標(biāo)溫度進(jìn)行差比較，并根據(jù)該比較結(jié)果控制向所述中心溫度調(diào)節(jié)單元調(diào)節(jié)所述氣體循環(huán)機(jī)構(gòu)的加熱功率。

10.一種反應(yīng)腔室，包括設(shè)置在其頂部的介質(zhì)窗，其特征在于，還包括權(quán)利要求1-9任意一項(xiàng)所述的介質(zhì)窗的溫控裝置。