[發明專利]具有束流自動反饋控制的考夫曼離子源在審
| 申請號： | 201710234464.2 | 申請日： | 2017-04-11 |
| 公開（公告）號： | CN108695128A | 公開（公告）日： | 2018-10-23 |
| 發明（設計）人： | 劉杰 | 申請（專利權）人： | 上海偉釗光學科技股份有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/08 | 分類號： | H01J37/08 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201822*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陰極燈絲 離子束流 束流 輸出 考夫曼離子源 自動反饋 電路 光學薄膜結構 自動反饋電路 負反饋信號 離子源輔助 離子源設備 真空室真空 鍍膜過程 工作氣體 光學薄膜 控制電路 人工干預 實時跟蹤 維持穩定 真空鍍膜 逐漸減小 牢固度 離子源 熱蒸發 擾動 鍍膜 減小 采集 傳遞 | ||
【權利要求書】：
1.一種具有束流自動反饋控制的考夫曼離子源，其特征在于通過負反饋電路的自動調節，使離子束流輸出穩定。
2.如權利要求1所述的離子源，其特征在于取樣比較電路中通過取樣屏柵到地之間的離子束流值并與設定束流值相比較，產生負反饋信號。
3.如權利要求1所述的離子源，其特征在于負反饋信號通過改變陰極燈絲的功率，從而改變陰極熱電子發射量，實現離子束流自動反饋控制。
4.如權利要求1所述的離子源，其特征在于負反饋信號傳遞給移相調壓反饋回路，通過控制晶閘管的開關相位導通角控制陰極燈絲變壓器的輸出功率。
5.如權利要求1所述的離子源，其特征在于負反饋信號的大小是通過PID算法獲得的。
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