[發(fā)明專利]氟化釔噴涂涂層、用于其的噴涂材料以及包括噴涂涂層的抗腐蝕涂層

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710234426.7
• 申請日: 2017-04-12
• 公開（公告）號: CN107287545B
• 公開（公告）日: 2022-07-05
• 發(fā)明（設計）人: 浜谷典明;高井康
• 申請（專利權）人: 信越化學工業(yè)株式會社
• 主分類號: C23C4/04
• 分類號: C23C4/04;C23C4/134
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 杜麗利

1.沉積在基材表面上的氟化釔噴涂涂層，其具有：10至500μm的厚度，包含YF₃和至少一種選自Y₅O₄F₇和YOF的化合物的氟化釔晶體結構，2至4.8重量％的氧濃度和至少350HV的硬度，并且所述噴涂涂層具有基于所述涂層的表面積計的至多5％的開裂量，

其中利用具有單個粒化的粉末的形式的氟化釔噴涂材料形成所述氟化釔噴涂涂層，所述單個?；姆勰┌凑杖缦路绞降玫剑和ㄟ^將YF₃源粉末和Y₂O₃源粉末的粉末混合物通過噴霧干燥而粒化、并將?；姆勰蓡蝹€粒化的粉末，所述粉末混合物包含95至85重量％的YF₃源粉末和5至15重量％的Y₂O₃源粉末。

2.根據權利要求1所述的噴涂涂層，其具有至多5％的孔隙率，基于所述涂層的表面積計。

3.根據權利要求1所述的噴涂涂層，其具有由YF₃、Y₂O₃、和選自Y₅O₄F₇和YOF的至少一種化合物組成的氟化釔晶體結構。

4.根據權利要求1所述的噴涂涂層，其具有至多0.01重量％的碳含量。

5.根據權利要求1所述的噴涂涂層，其中氧濃度為2至4重量％。

6.用于形成根據權利要求1所述的氟化釔噴涂涂層的氟化釔噴涂材料，其為基本上由9至27重量％的Y₅O₄F₇和余量的YF₃組成的?；姆勰┑男问?，

所述噴涂材料具有單個?；姆勰┑男问?，

其中所述單個粒化的粉末按照如下方式得到：通過將YF₃源粉末和Y₂O₃源粉末的粉末混合物通過噴霧干燥而粒化、并將?；姆勰蓡蝹€?；姆勰?，所述粉末混合物包含95至85重量％的YF₃源粉末和5至15重量％的Y₂O₃源粉末。

7.根據權利要求6所述的氟化釔噴涂材料，其中?；勰┰谡婵栈蚨栊詺怏w氣氛中在600至1000℃燒制1至12小時。

8.根據權利要求6所述的氟化釔噴涂材料，其中YF₃源粉末和Y₂O₃源粉末的每種是具有0.01至3μm的粒度D₅₀的單個顆粒的集合。

9.根據權利要求6所述的氟化釔噴涂材料，其中所述單個?；姆勰┚哂?0至60μm的粒度D₅₀。

10.根據權利要求6所述的氟化釔噴涂材料，其中所述單個?；姆勰┚哂衁₅O₄F₇晶體和YF₃晶體的混合物的晶體結構。

11.具有多層結構的抗腐蝕涂層，包括具有10至500μm的厚度和至多5％的孔隙率的稀土氧化物噴涂涂層形式的下層和根據權利要求1所述的氟化釔噴涂涂層形式的最外表面層。

12.根據權利要求11所述的涂層，其中所述稀土氧化物噴涂涂層的稀土元素為選自Y、Sc、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb和Lu的至少一種元素。