[發(fā)明專利]用于真空磁控濺射銀基合金靶材坯料及其制備方法和應用

有效

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• 申請日: 2017-04-11
• 公開（公告）號: CN106947879B
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發(fā)明（設計）人: 張勤;楊洪英;張德勝;夏軍;金哲男;佟琳琳;陳國寶;肖發(fā)新;劉子龍;呂建芳
• 申請（專利權）人: 東北大學
• 主分類號: C22C5/06
• 分類號: C22C5/06;C22C5/08;C22C1/03;C23C14/35;C23C14/14
• 代理公司: 沈陽優(yōu)普達知識產(chǎn)權代理事務所(特殊普通合伙) 21234
• 代理人: 張志偉

1.一種用于真空磁控濺射銀基合金靶材坯料的制備方法，其特征在于：按重量百分比計，該銀基合金靶材坯料中包含98.26 wt% ~ 99.465 wt%的金屬銀，銅含量為0.5 wt%~1.5wt%，釔含量為0.1 wt%~1.0 wt%，并含有以下附加合金化元素中的一種或兩種以上：Ni、Ce、Zn、Al、Mg、Nd、Si，附加合金化元素添加量合計0.035 wt% ~ 0.14 wt%；

所述的用于真空磁控濺射銀基合金靶材坯料的制備方法，包括以下工藝步驟：

（1）按配比用10-5精準天平準確稱取各合金的所需金屬元素的重量，使用帶氬氣保護裝置的高頻感應爐進行合金熔煉；首先，將金屬銅放進石墨坩堝中升溫至熔化，而后在1120℃±50 ℃時加入鋅進行合金化熔煉，熔煉結束后將石墨坩堝降到冷卻平臺上，在熱頂保護、永磁攪拌和定向強制冷卻的條件下進行鑄造成型，獲得的銅鋅合金坯料冷卻至室溫后取出進行軋制和剪切，制得銅鋅二元中間合金備用，熔煉前通入足夠長時間的高純氬氣，排盡熔煉爐內(nèi)空氣，并保持通高純氬氣至鑄錠冷卻到室溫結束；

（2）將銀放入石墨坩堝中，使用帶氬氣保護裝置的高頻感應爐升溫至熔化，根據(jù)需要在1500 ℃±50 ℃依次分別加入釔、鎳、銅鋅中間合金、鈰、鋁、鎂、釹、硅元素進行合金化熔煉，利用光譜儀進行成分快速檢測并調(diào)整成分，成分合格后準備進行鑄造成型；熔煉前通入足夠長時間的高純氬氣，確保排盡感應熔煉爐內(nèi)空氣；

（3）銀基合金熔煉結束后將石墨坩堝降到冷卻平臺上，在熱頂保護、永磁攪拌和定向強制冷卻的條件下進行鑄造成型，制得銀基合金靶材坯料，通高純氬氣至錠坯冷卻到室溫；

（4）待錠坯降至室溫后，取出銀基合金靶材坯料，將冒口部位切除，根據(jù)需要切割成一定尺寸和形狀的銀基合金靶材坯料待用。

2.按照權利要求1所述的用于真空磁控濺射銀基合金靶材坯料的制備方法，其特征在于：該方法所用金屬銀、銅、釔粉、金粉、鋅粉、鋁粉、鎂粉的重量純度≥ 99.99%，該方法所用鎳粉、鈰、釹、硅的重量純度≥ 99.95%。

3.按照權利要求1 ~ 2任何一項所述的用于真空磁控濺射銀基合金靶材坯料的應用，其特征在于，銀基合金靶材坯料，經(jīng)過加工處理后在真空磁控濺射中應用。