[發明專利]硬掩模用組合物

有效

• 申請號: 201710233535.7
• 申請日: 2017-04-11
• 公開（公告）號: CN107340688B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 崔漢永;梁敦植;金相泰;成始震
• 申請（專利權）人: 東友精細化工有限公司
• 主分類號: G03F7/11
• 分類號: G03F7/11
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 金鮮英;宋海花

1.一種硬掩模組合物，其包含聚合物和溶劑，所述聚合物包含選自由下述化學式1-1和化學式1-2組成的組中的至少一種重復單元，

所述聚合物通過如下化合物與含有炔基的咔唑系化合物的縮合反應而制造，所述化合物為選自由碳原子數13～41的酮化合物、碳原子數1～25的醛化合物和碳原子數1～25的二醇化合物組成的組中的至少一種，

化學式1-1

式中，Ar₁及Ar₂各自獨立地為碳原子數6～20的芳香族烴基，或者Ar₁為氫原子且Ar₂為碳原子數1～25的烴基，

Ar₁和Ar₂可彼此連結而形成5～7元環，n為1～3的整數，

化學式1-2

式中，Ar₃為4～20的亞芳基。

2.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，所述含有炔基的咔唑系化合物由下述化學式2表示，

化學式2

式中，n為1～3的整數。

3.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，所述酮化合物為下述化學式3所表示的化合物，

化學式3

式中，Ar₁及Ar₂各自獨立地為碳原子數6～20的芳香族烴基，Ar₁和Ar₂可彼此連結而形成5～7元環。

4.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，所述二醇化合物為下述化學式4所表示的化合物，

化學式4

式中，Ar₃為碳原子數6～20的亞芳基，R₁及R₂各自獨立地為氫原子、甲基或乙基。

5.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，所述聚合物的重均分子量為500～15000。

6.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，組合物總重量中，所述聚合物的含量為10～50重量％，所述溶劑的含量為50～90重量％。

7.根據權利要求1所述的硬掩模組合物，進一步包含交聯劑和催化劑中的至少一種。