[發(fā)明專(zhuān)利]一種磁控濺射鍍膜系統(tǒng)及利用其制備高純度靶膜的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710232108.7 | 申請(qǐng)日： | 2017-04-11 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106978597A | 公開(kāi)（公告）日： | 2017-07-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉城淋;楊洪廣;占勤;劉振興 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 中國(guó)原子能科學(xué)研究院 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23C14/35 | 分類(lèi)號(hào)： | C23C14/35;C23C14/50 |
| 代理公司： | 暫無(wú)信息 | 代理人： | 暫無(wú)信息 |
| 地址： | 102413 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 磁控濺射 鍍膜 系統(tǒng) 利用 制備 純度 方法 | ||
【說(shuō)明書(shū)】：
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C23 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
C23C 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面擴(kuò)散法，化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過(guò)覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理
