[發(fā)明專利]一種判別不同素面鐳射母版微觀結(jié)構(gòu)的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710230382.0
• 申請日: 2017-04-10
• 公開（公告）號: CN106950182B
• 公開（公告）日: 2019-06-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 黃敏;石冰潔;何瑞麗;李修;何曉輝;羅長輝
• 申請（專利權(quán)）人: 北京印刷學(xué)院
• 主分類號: G01N21/25
• 分類號: G01N21/25
• 代理公司: 北京市廣友專利事務(wù)所有限責(zé)任公司 11237
• 代理人: 耿小強(qiáng)

1.一種判別不同素面鐳射母版微觀結(jié)構(gòu)的方法，包括如下步驟：

(1)固定素面鐳射母版，選取素面鐳射母版上任一處位置，保證顏色測量儀器測量孔徑與測量點(diǎn)相對位置不變，改變顏色測量儀器與鐳射母版的夾角，顏色測量儀器的探測角度設(shè)定為45°，依次測量夾角分別為0°、5°、10°、15°、20°、25°、30°、35°、40°和45°時的色度值L^*值；對需要判別微觀結(jié)構(gòu)的不同素面鐳射母版，分別進(jìn)行上述測量；

(2)標(biāo)記步驟(1)中測量得到的各素面鐳射母版10組L^*值中最大值出現(xiàn)的夾角位置；

(3)選取其中一塊素面鐳射母版作為標(biāo)準(zhǔn)母版，將其L^*值最大值出現(xiàn)的夾角位置定義為初始測量角度位置；

(4)將各待比較素面鐳射母版L^*值最大值出現(xiàn)的位置與標(biāo)準(zhǔn)母版L^*值最大值出現(xiàn)的位置對齊，調(diào)整、校正各待比較素面鐳射母版的初始測量角度位置；比較不同素面鐳射母版L^*值最大值出現(xiàn)的位置，將各素面鐳射母版L^*值最大值出現(xiàn)的位置定義為初始測量角度位置；當(dāng)待比較素面鐳射母版的L^*值最大值對應(yīng)角度比標(biāo)準(zhǔn)母版L^*值最大值對應(yīng)角度大時，則將待比較素面鐳射母版逆時針旋轉(zhuǎn)兩個測量角度間的差值，此差值為標(biāo)準(zhǔn)母版所在角度-待比較素面鐳射母版角度；反之，則將待比較素面鐳射母版順時針旋轉(zhuǎn)兩個測量角度間的差值；

(5)用顏色測量儀器采集標(biāo)準(zhǔn)母版和待比較素面鐳射母版上任一處位置的光譜信息；在保證顏色測量儀器測量孔徑與測量位置不變的情況下，旋轉(zhuǎn)顏色測量儀器，從初始位置開始，依次采集0°，45°夾角位置的光譜信息，并繪制顏色測量儀器在該夾角位置處，25°和45°探測角度接收并測量到的光譜能量分布曲線；

(6)根據(jù)繪制的光譜能量分布曲線形狀和峰值波長出現(xiàn)位置，結(jié)合光柵方程，比較、分析不同待測試素面鐳射母版與標(biāo)樣鐳射母版的微觀結(jié)構(gòu)差異。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判別不同素面鐳射母版微觀結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：所述的素面鐳射母版上任一處位置或者標(biāo)準(zhǔn)母版和待比較素面鐳射母版上任一處位置，為素面鐳射母版上無明顯劃痕、蹭臟的平整區(qū)域。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判別不同素面鐳射母版微觀結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：所述的顏色測量儀器為多角度分光光度計(jì)，其測量條件為D65照明光源，10°視場，測量光譜范圍為400nm-700nm，間隔為10nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的判別不同素面鐳射母版微觀結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：所述的多角度分光光度計(jì)光源入射角為45°，光電探測器件接收角度分別為15°，25°，45°，75°和110°。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判別不同素面鐳射母版微觀結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：所述的標(biāo)準(zhǔn)母版的初始測量角度位置定義為0°。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判別不同素面鐳射母版微觀結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：將校正后各待比較素面鐳射母版的初始測量角度位置定義為0°。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的判別不同素面鐳射母版微觀結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：光柵方程為d(sini+sinj)＝mλ；其中，d為光柵周期，i為入射角，j為衍射角，λ為入射光波長，m為衍射光級次，m＝±1,2,3……。