[發明專利]一種鍺氮共摻的碳化硅單晶材料的生長方法有效
| 申請號： | 201710229299.1 | 申請日： | 2017-04-10 |
| 公開（公告）號： | CN106968018B | 公開（公告）日： | 2019-02-05 |
| 發明（設計）人： | 陳秀芳;李天;徐現剛;胡小波 | 申請（專利權）人： | 山東大學 |
| 主分類號： | C30B29/36 | 分類號： | C30B29/36;C30B23/00 |
| 代理公司： | 濟南金迪知識產權代理有限公司 37219 | 代理人： | 陳桂玲 |
| 地址： | 250199 山*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 鍺氮共摻 碳化硅 材料 生長 方法 | ||
【權利要求書】：
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