[發(fā)明專利]一種浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710227103.5
• 申請(qǐng)日: 2017-04-10
• 公開（公告）號(hào): CN108691821A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 戴長(zhǎng)虹
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 青島理工大學(xué)
• 主分類號(hào): F04F9/00
• 分類號(hào): F04F9/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵，包括泵體、泵油、泵芯、蒸發(fā)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、噴射系統(tǒng)和控制系統(tǒng)，其特征在于：蒸發(fā)系統(tǒng)采用浮動(dòng)加熱的加熱方式，蒸發(fā)系統(tǒng)包括蒸發(fā)器、加熱器和測(cè)溫控溫元件，蒸發(fā)器具有加熱區(qū)和儲(chǔ)油區(qū)，兩者通過(guò)中間隔板分開并通過(guò)隔板上的油孔相連通，加熱器設(shè)置在加熱區(qū)內(nèi)，對(duì)加熱區(qū)內(nèi)的泵油進(jìn)行加熱使其即時(shí)蒸發(fā)變成蒸氣；加熱器固定在中間隔板上，中間隔板能夠漂浮在泵油中，使加熱區(qū)在正常的泵油范圍內(nèi)始終保持恒定不變。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵，其特征在于所述蒸發(fā)系統(tǒng)懸空絕熱安裝在泵體內(nèi)底部，所述蒸發(fā)系統(tǒng)與冷卻系統(tǒng)完全隔離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵，其特征在于所述中間隔板采用隔熱板或絕熱板，以減少所述加熱區(qū)與儲(chǔ)油區(qū)之間的熱傳導(dǎo)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵，其特征在于所述中間隔板的底部設(shè)置成凸環(huán)與凹環(huán)相間的形狀，有利于縮小加熱區(qū)的容積、使加熱速率更快、能耗更低。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵，其特征在于所述擴(kuò)散泵裝有油泵，所述油泵通過(guò)泵油的循環(huán)噴射，將蒸發(fā)系統(tǒng)和泵芯與冷卻系統(tǒng)聯(lián)系在一起。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵，其特征在于所述加熱器為環(huán)形加熱管或加熱棒。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵，其特征在于所述加熱器為電阻加熱或感應(yīng)加熱。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵，其特征在于所述加熱器不工作時(shí)全部浸沒(méi)在泵油中、工作時(shí)部分浸沒(méi)在泵油中。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵，其特征在于所述加熱器的加熱溫度控制在高于泵油的蒸發(fā)溫度10-30度，既有利于泵油的蒸發(fā)又能防止泵油分解和碳化，還能大幅度減小能耗。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的浮動(dòng)加熱式真空擴(kuò)散泵，其特征在于所述噴射系統(tǒng)中的蒸氣導(dǎo)管其底部插入對(duì)應(yīng)加熱區(qū)的泵油中，將加熱區(qū)進(jìn)行分區(qū)和分隔。