[發(fā)明專利]基于壓阻效應(yīng)的MEMS同振型球形振子矢量水聽器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710226797.0 | 申請(qǐng)日： | 2017-04-10 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107063430B | 公開（公告）日： | 2019-05-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 丑修建;穆繼亮;徐方良;高翔;胡磊;石樹正;耿文平;薛晨陽 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 中北大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01H3/12 | 分類號(hào)： | G01H3/12;G01H11/08 |
| 代理公司： | 太原科衛(wèi)專利事務(wù)所(普通合伙) 14100 | 代理人： | 朱源;武建云 |
| 地址： | 030051*** | 國省代碼： | 山西;14 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 壓敏電阻 基準(zhǔn)電阻 矢量水聽器 框型基座 球形振子 振型 環(huán)形連接體 壓阻效應(yīng) 橫梁 惠斯通電橋結(jié)構(gòu) 微型化 差模抑制 低頻特性 高靈敏度 工作頻帶 共模輸出 金屬引線 條邊 串聯(lián) 優(yōu)化 | ||
1.一種基于壓阻效應(yīng)的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于：包括框型基座（1），所述框型基座（1）上的四條邊分別通過橫梁（2）連接環(huán)形連接體（3），所述環(huán)形連接體（3）上安裝球形拾振單元（4），所述球形拾振單元（4）的密度為1g/cm3；四根橫梁（2）外側(cè)分別設(shè)置有壓敏電阻R11、壓敏電阻R12、壓敏電阻R13和壓敏電阻R14，所述框型基座（1）上設(shè)置有基準(zhǔn)電阻R2、基準(zhǔn)電阻R3和基準(zhǔn)電阻R4；壓敏電阻R11、R12、R13 、R14串聯(lián)后與基準(zhǔn)電阻R2、R3和R4通過金屬引線（5）連接成惠斯通電橋結(jié)構(gòu)，各基準(zhǔn)電阻阻值為各壓敏電阻阻值的4倍。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于壓阻效應(yīng)的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于：各壓敏電阻是采用離子注入的方式制成沿<110>晶向布置的P型硅電阻條，長100μm、寬20μm；各基準(zhǔn)電阻是采用離子注入的方式制成沿<110>晶向布置的P型硅電阻條，長400μm、寬20μm。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于壓阻效應(yīng)的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于：所述框型基座（1）外邊長5000μm、內(nèi)邊長3500μm；所述橫梁（2）長900μm、寬120μm、厚30μm；所述環(huán)形連接體（3）外徑1700μm、內(nèi)徑1500μm、厚度30μm；所述球形拾振單元（4）直徑1500μm。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于壓阻效應(yīng)的MEMS同振型球形振子矢量水聽器，其特征在于：所述球形拾振單元（4）采用聚乙烯材料制備。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于中北大學(xué)，未經(jīng)中北大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201710226797.0/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
