[發(fā)明專利]一種單晶爐的稱重裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710224445.1
• 申請(qǐng)日: 2017-04-07
• 公開（公告）號(hào): CN106757315A
• 公開（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊曉紅;朱偉忠;蘇曉良;周杰;沈浩鋒;王宏琳;王謨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天通吉成機(jī)器技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/20
• 分類號(hào): C30B15/20;C30B29/06
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司11227
• 代理人: 李海建

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶體生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種單晶爐的稱重裝置。

背景技術(shù)

單晶爐是一種在惰性氣體環(huán)境中，用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生長(zhǎng)無錯(cuò)位單晶的設(shè)備。

現(xiàn)有的單晶爐主要包括機(jī)架、主爐室、副室、晶體提拉機(jī)構(gòu)、坩堝和坩堝提升機(jī)構(gòu)。副室連接于主爐室上，坩堝設(shè)置于主爐室內(nèi)，坩堝的下部通過坩堝提升機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)升降；晶體提拉機(jī)構(gòu)設(shè)置于副室上方，晶體提拉機(jī)構(gòu)的提拉繩穿過副室進(jìn)入主爐室中，對(duì)仔晶進(jìn)行提拉生成晶棒。由于在晶體生長(zhǎng)的過程中，隨著晶體提拉機(jī)構(gòu)的不斷提拉，坩堝中的熔融態(tài)原料在仔晶處形成固態(tài)晶棒，此時(shí)，坩堝內(nèi)的溶液不斷減小，液位下降，為了保證晶棒的持續(xù)生長(zhǎng)，在單晶爐晶體生長(zhǎng)過程中，需要根據(jù)工藝要求和坩堝里剩余料的情況調(diào)整鍋跟比，鍋跟比即坩堝的移動(dòng)速度與晶體提拉機(jī)構(gòu)的提拉速度之間的比值。

目前采用的鍋跟比是通過公式計(jì)算，得出晶棒每段長(zhǎng)度生長(zhǎng)的鍋跟比。在生長(zhǎng)過程中按照表中鍋跟比根據(jù)晶體提拉機(jī)構(gòu)的提拉速度控制坩堝上升的速度，根據(jù)晶體生長(zhǎng)的實(shí)際情況來人為手動(dòng)干預(yù)修改鍋跟比系數(shù)，修正晶體的生長(zhǎng)過程。但在實(shí)際生產(chǎn)過程中，由于生長(zhǎng)的晶體直徑有變化，導(dǎo)致會(huì)出現(xiàn)實(shí)際的鍋跟比過大或者過小，影響晶體的正常生長(zhǎng)。

綜上所述，如何解決鍋跟比調(diào)節(jié)不精確的問題，成為了本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種單晶爐的稱重裝置，以應(yīng)用到單晶爐中，避免鍋跟比過大或過小影響晶體生長(zhǎng)。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案：

一種單晶爐的稱重裝置，包括：

稱重器件，用于安裝在所述單晶爐的晶體提拉機(jī)構(gòu)內(nèi)，用于稱量晶體重量；

承載件，支撐于所述稱重器件上，用于承載所述晶體提拉機(jī)構(gòu)的提拉繩。

優(yōu)選地，在上述的稱重裝置中，還包括支架，用于安裝在所述晶體提拉機(jī)構(gòu)內(nèi)，所述稱重器件安裝于所述支架上。

優(yōu)選地，在上述的稱重裝置中，所述承載件為滑輪，所述滑輪轉(zhuǎn)動(dòng)支撐于所述稱重器件上，所述提拉繩繞過所述滑輪。

優(yōu)選地，在上述的稱重裝置中，所述承載件為光桿，所述光桿轉(zhuǎn)動(dòng)支撐或固定支撐于所述稱重器件上，所述提拉繩繞過所述光桿。

優(yōu)選地，在上述的稱重裝置中，所述稱重器件的數(shù)量為至少兩個(gè)。

優(yōu)選地，在上述的稱重裝置中，所述稱重器件分別支撐于所述承載件的兩端。

優(yōu)選地，在上述的稱重裝置中，所述稱重器件為電子秤。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明提供的單晶爐的稱重裝置中，包括稱重器件和承載件，稱重器件用于安裝在單晶爐的晶體提拉機(jī)構(gòu)內(nèi)，用于稱量晶體重量；承載件支撐于稱重器件上，用于承載晶體提拉機(jī)構(gòu)的提拉繩。工作時(shí)，晶體提拉機(jī)構(gòu)在通過提拉繩提拉晶體時(shí)，由于提拉繩承載于承載件上，因此，整個(gè)晶體的重量壓在承載件上，而承載件安裝在稱重器件上，因此，稱重器件能夠稱量晶體重量。本申請(qǐng)中的單晶爐的稱重裝置能夠應(yīng)用于單晶爐中，利用坩堝內(nèi)的裝料總重量和稱量的晶體重量，得到坩堝內(nèi)的剩余料重量，來控制坩堝提升機(jī)構(gòu)的提升速度，避免了鍋跟比過小或者過大影響晶體生長(zhǎng)。

附圖說明

為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種單晶爐的稱重裝置的安裝結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的一種單晶爐的稱重裝置的工作原理示意圖。

其中，1為晶體提拉機(jī)構(gòu)、11為提拉繩、12為提拉箱體、13為提拉驅(qū)動(dòng)裝置、2為副室、3為晶體、4為主爐室、5為坩堝、6為坩堝提升機(jī)構(gòu)、7為稱重裝置、71為承載件、72為稱重器件、73為支架。

具體實(shí)施方式

本發(fā)明的核心是提供了一種單晶爐的稱重裝置，能夠用于單晶爐的鍋跟比調(diào)節(jié)，避免了鍋跟比過大或過小影響晶體生長(zhǎng)。

下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本發(fā)明一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本發(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。