[發明專利]一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法

有效

• 申請號: 201710224205.1
• 申請日: 2017-04-07
• 公開（公告）號: CN107129277B
• 公開（公告）日: 2020-08-28
• 發明（設計）人: 李龍騰;劉冠鵬
• 申請（專利權）人: 中國船舶重工集團公司第七二五研究所
• 主分類號: C04B35/01
• 分類號: C04B35/01;C04B35/622;C04B35/64;C23C14/35;B28B3/00
• 代理公司: 洛陽公信知識產權事務所(普通合伙) 41120
• 代理人: 孫笑飛

1.一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法，其特征在于：以氣化回收ITO粉為原料，加入原料質量0.5%—3%的氧化錫和/或氧化銦粉末作為燒結活性增強劑，并使其分布于ITO粉中；將混合后的粉末加水、分散劑球磨后噴霧干燥，然后放入模具中以分階段逐步加壓，每次升壓后保持一定時間的方式壓制成初坯，然后再以分階段逐步升壓，每次升壓后保持一定時間的方式經冷等靜壓制成坯體，制成的坯體經保溫脫脂后，在氧氣氣氛下燒制成ITO靶材。

2.如權利要求1所述的一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法，其特征在于：在氣化回收ITO粉中加入的氧化錫或氧化銦粉末，首先滿足混合粉末中SnO₂質量百分比含量為10%，滿足該條件后如添加量小于原料質量的0.5%，則繼續以1:9的質量比同時添加氧化錫粉末和氧化銦粉末。

3.如權利要求1或2所述的一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法，其特征在于：所述氧化銦粉末的純度≥99.99%，比表面積≥5m²/g；氧化錫粉末的純度≥99.99%，比表面積≥10 m²/g。

4.如權利要求1所述的一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法，其特征在于：噴霧干燥后的粉末放入模具中，以20—30MPa的壓力保壓20—30秒，然后升壓至40—50MPa保壓30—40秒，再升壓至60—80MPa保壓100—120秒，之后在120—150秒內卸至常壓制成初坯。

5.如權利要求1所述的一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法，其特征在于：將初坯經冷等靜壓制成坯體，冷等靜壓過程中，以130—180MPa的壓力保壓200—300秒，然后升壓至200—220MPa保壓120—180秒，再升壓至250—280MPa保壓60—90秒，之后在300—400秒內卸至常壓制成坯體。

6.如權利要求1所述的一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法，其特征在于：以100—150℃/h的速率升溫至700—800℃保溫5—10小時對坯體進行脫脂。

7.如權利要求1所述的一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法，其特征在于：坯體經保溫脫脂后，在爐內通入氧氣形成0.4—0.6MPa的氧氣氛，以100—150℃/h的速率升溫至1300—1400℃保溫10—20小時，之后以100—150℃/h的速率升溫至1560—1600℃保溫10—30小時，保溫結束后隨爐冷卻至室溫制成ITO靶材。

8.如權利要求1所述的一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法，其特征在于：將所述混合后的粉末放入球磨設備中，加入0.5—1.5倍粉末重量的磨球和0.5—1倍粉末重量的蒸餾水，之后再加入分散劑球磨30—60小時。

9.如權利要求8所述的一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法，其特征在于：所述的分散劑為親水性分散劑，金屬雜質含量≤200ppm。

10.如權利要求1所述的一種ITO廢靶回收粉末制備ITO靶材的方法，其特征在于：所述噴霧干燥在噴霧干燥機中進行，進風溫度為150—250℃，出風溫度為80—130℃，進料速度為15—20kg/h。