[發明專利]金屬部件的接合方法以及接合裝置

有效

• 申請號: 201710223797.5
• 申請日: 2017-04-07
• 公開（公告）號: CN107283057B
• 公開（公告）日: 2021-01-08
• 發明（設計）人: 井本吉紀;長濱貴也;椎葉好一
• 申請（專利權）人: 株式會社捷太格特
• 主分類號: B23K26/21
• 分類號: B23K26/21;B23K26/70
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 李洋;蘇琳琳

1.一種接合方法，其向第一金屬部件的照射面照射加熱接合用激光而對上述第一金屬部件的第一接合面進行加熱，并將上述第一接合面和與上述第一接合面抵接的第二金屬部件的第二接合面接合，其中，具備：

氧化膜形成工序，以第一輸出向上述第一金屬部件的上述照射面照射氧化膜形成用激光，并在上述照射面上形成與上述氧化膜形成用激光的上述第一輸出以及照射時間相對應的膜厚的氧化膜；

第一反射激光檢測工序，檢測上述氧化膜形成用激光被上述照射面反射而生成的第一反射激光的輸出亦即第二輸出；

第一吸收率運算工序，基于在上述氧化膜形成工序照射的上述氧化膜形成用激光的上述第一輸出以及由上述第一反射激光檢測工序檢測的上述第一反射激光的上述第二輸出，運算上述第一金屬部件的上述照射面中的上述氧化膜形成用激光的第一吸收率；

激光切換工序，在判定上述第一吸收率為規定的吸收率以上的情況下，將向上述照射面的上述氧化膜形成用激光的照射切換為上述加熱接合用激光；以及

加熱接合工序，在切換為上述加熱接合用激光之后，以第三輸出向上述照射面照射上述加熱接合用激光，將上述第一接合面的溫度加熱至規定的接合溫度并使上述第一接合面與上述第二接合面接合，

在上述加熱接合工序中，上述加熱接合用激光的上述第三輸出比上述氧化膜形成用激光的上述第一輸出小。

2.根據權利要求1所述的接合方法，其中，

上述規定的接合溫度是能夠使上述第一接合面與上述第二接合面成為以比液相狀態低的溫度成立、以固體的狀態能夠接合的固相狀態的溫度，

在上述加熱接合工序中，上述第一接合面以及上述第二接合面在上述固相狀態下沿壓焊方向被加壓而接合。

3.根據權利要求1或2所述的接合方法，其中，

上述第一吸收率在其與上述氧化膜的膜厚的關系中，具有相對于上述膜厚向增大方向的變化而交替出現極大值和極小值的周期性并且在上述氧化膜的膜厚為零的情況下變得最小的特性，

上述激光切換工序中上述規定的吸收率在與將第一膜厚范圍與第二膜厚范圍合并的膜厚范圍對應的上述第一吸收率的范圍內設定，在具有上述周期性的上述第一吸收率與上述膜厚的關系中，上述第一膜厚范圍是在上述氧化膜的膜厚超過上述零，且與上述第一吸收率第一次作為上述極大值出現的第一極大值對應的第一極大膜厚，以及與在上述第一極大值之后上述第一吸收率作為上述極大值出現的第二極大值對應的第二極大膜厚之間，比與上述第一吸收率作為上述極小值出現的第一極小值對應的第一極小膜厚小的范圍，上述第二膜厚范圍，是在上述第一極小膜厚以上，并且包括上述第二極大膜厚，且與在上述第二極大值之后上述第一吸收率作為上述極大值出現的第三極大值對應的第三極大膜厚與上述第二極大膜厚之間，比與上述第一吸收率作為上述極小值出現的第二極小值對應的第二極小膜厚小的范圍。

4.根據權利要求3所述的接合方法，其中，

上述第一吸收率的范圍是20％～60％。

5.根據權利要求3所述的接合方法，其中，

對于上述激光切換工序中的上述規定的吸收率而言，在具有上述周期性的與上述膜厚的關系中，在與上述第一膜厚范圍對應的上述第一吸收率的范圍內設定。

6.根據權利要求3所述的接合方法，其中，

上述規定的吸收率設定為上述第一極大值。

7.根據權利要求3所述的接合方法，其中，

上述規定的吸收率設定為40％。

8.根據權利要求1或2所述的接合方法，其中，

在上述氧化膜形成工序中，上述氧化膜形成用激光與上述照射面正交地入射。