[發明專利]多定位平臺的微納操作系統方案設計

有效

• 申請號: 201710222747.5
• 申請日: 2017-04-07
• 公開（公告）號: CN106971762B
• 公開（公告）日: 2019-04-23
• 發明（設計）人: 李東潔;王倩倩;宋賀
• 申請（專利權）人: 哈爾濱理工大學
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種多定位平臺的微納操作系統，其特征在于，該系統采用多定位平臺來實現對不同操作物的定位操作，合理分配操作腔內的空間，均勻分布，運動控制部分采用三軸運動平臺作為執行機構，通過控制X軸與Y軸實現測量視場的變換，通過控制Z軸使操作臂上下移動，高度調整，實現自動聚焦，被設計的執行機構可沿機身十字移動，以對每一個定位平臺操作，提高操作效率，所述的定位平臺（1），用于對不同操作物的放置及定位；伺服電機（2），實現三維運動控制，調整定位平臺和操作器；旋轉盤1（3）用于對操作器的方向旋轉，以對不同定位平臺進行操作；交叉移動平臺（4），用于移動操作器，實現對每一個定位平臺操作；CCD相機、光學顯微鏡（5）用于輔助操作探針進行粗定位；光源照明系統（6），采用LED 環形光源與同軸光源相結合提供系統照明；微夾持器（7）固定夾持探針，具有旋轉功能，可以調節探針提取被測物的角度；旋轉盤2（8）旋轉操作臂，使探針與相機位置互換，完成操作任務。