[發(fā)明專利]納米深度損傷層機(jī)械化學(xué)磨削方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201710222157.2 | 申請(qǐng)日： | 2017-04-07 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN107042467A | 公開（公告）日： | 2017-08-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張振宇;黃思玲;崔俊峰;康仁科;郭東明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 大連理工大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | B24B35/00 | 分類號(hào)： | B24B35/00;B24D18/00;B24D3/14 |
| 代理公司： | 大連理工大學(xué)專利中心21200 | 代理人： | 溫福雪,侯明遠(yuǎn) |
| 地址： | 116024 遼*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 納米 深度 損傷 機(jī)械 化學(xué) 磨削 方法 | ||
1.一種納米深度損傷層機(jī)械化學(xué)磨削方法，采用陶瓷基金剛石砂輪，在機(jī)械化學(xué)復(fù)合作用下實(shí)現(xiàn)納米深度損傷層高效超精密磨削方法，其特征是：
(1)工件為硅片或玻璃；
(2)氧化鋅為結(jié)合劑，添加劑為氧化鈰、氧化鎂、氧化硅或碳化硅；
(3)磨粒為金剛石，尺寸為500-1000nm；
(4)金剛石磨粒的重量百分含量為40-50％，結(jié)合劑的重量百分含量為20-25％，添加劑的重量百分含量為25-40％，將金剛石磨粒、結(jié)合劑和添加劑在室溫下混合均勻，用等靜壓的方法在室溫下壓制成方塊，壓力為500-3000kg/cm2；
(5)將壓制的方塊進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)，在350-400℃下形成氣孔，680-700℃下玻璃態(tài)成形，燒結(jié)時(shí)間1.5-2h，燒結(jié)后形成密度為1.4-2.5g/cm3的陶瓷基陶瓷塊；
(6)陶瓷基陶瓷塊均布粘接于鋁合金溝槽中，形成陶瓷基金剛石砂輪；
(7)將陶瓷基金剛石砂輪安裝于超精密磨床上，用碳化硅磨粒在鑄鐵盤上對(duì)陶瓷基金剛石砂輪進(jìn)行整形，然后進(jìn)行超精密磨削，磨削液為去離子水；
(8)超精密磨削時(shí)，陶瓷基金剛石砂輪的轉(zhuǎn)速為2200-2400rpm，工件的轉(zhuǎn)速為100-140rpm，陶瓷基金剛石砂輪的進(jìn)給速率為4-20μm/min；
(9)超精密磨削后，工件表面粗糙度Ra達(dá)到0.9-1.5nm，PV值8-20nm，亞表面損傷層厚度45-100nm，為納米深度損傷層。
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