[發明專利]一種碳基透射電鏡樣品載網及其制備方法

在審

• 申請號: 201710214979.6
• 申請日: 2017-04-02
• 公開（公告）號: CN106990265A
• 公開（公告）日: 2017-07-28
• 發明（設計）人: 高超;許震;郭凡;孫海燕
• 申請（專利權）人: 浙江大學
• 主分類號: G01Q30/20
• 分類號: G01Q30/20
• 代理公司: 杭州求是專利事務所有限公司33200
• 代理人: 邱啟旺

1.一種碳基透射電鏡樣品載網，其特征在于，所述樣品載網由碳材料構成，包括骨架載網，所述骨架載網具有鏤空孔，還包括鋪設在鏤空孔上的網孔支持膜，所述網孔支持膜與骨架載網融合為一體；所述骨架載網為碳化膜，網孔支持膜為厚度為1-100納米的碳膜，或由直徑為0.5～50微米的碳纖維構成。

2.一種碳基透射電鏡樣品載網的制備方法，其特征在于，包含如下步驟：

(1)取耐高溫(3000℃)碳基底，在基底上造孔，獲得骨架載網。

(2)用網孔支持膜覆蓋鏤空孔，并通過高溫燒結，使之融合于骨架載網。

(3)通過激光刻蝕的方法在網孔支持膜上打孔，獲得載網。

3.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，通過以下方法實現網孔支持膜覆蓋鏤空孔：將濃度為0.001～10mg/mL的氧化石墨烯溶液均勻鋪在骨架載網表面，晾干并還原。

4.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，耐高溫(3000℃)碳基底包括石墨片、HOPG、金剛石、石墨烯材料和碳納米管材料等，厚度在100～1000μm。

5.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述步驟1中的造孔方法包括機械打孔和激光刻蝕。

6.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，網孔支持膜包括聚合物碳化膜、石墨烯膜或碳纖維織物等。

7.根據權利要求6所述的制備方法，其特征在于，聚合物碳化薄膜選自PI膜碳化膜、丙烯腈膜碳化膜。

8.根據權利要求6所述的制備方法，其特征在于，所述石墨烯膜通過CVD生長得到。

9.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述步驟2中高溫燒結的溫度在200～3200℃。

10.根據權利要求2所述的制備方法，其特征在于，所述步驟3中的打孔方法為激光刻蝕，激光刻蝕的波長1064nm，掃描速2～5000mm/s，能量6.0～9.0W。