[發明專利]研磨用組合物及其制造方法以及磁研磨方法

有效

• 申請號: 201710214337.6
• 申請日: 2017-04-01
• 公開（公告）號: CN106994627B
• 公開（公告）日: 2018-06-29
• 發明（設計）人: 玉田修一;森永均;菱田翔太;安井大祐
• 申請（專利權）人: 福吉米株式會社
• 主分類號: B24B1/00
• 分類號: B24B1/00;C09K3/14
• 代理公司: 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇;李茂家

本發明涉及研磨用組合物及其制造方法以及磁研磨方法。本發明提供磁性顆粒不易發生氧化的研磨用組合物及磁研磨方法。研磨用組合物(1)含有磁性顆粒、用于抑制磁性顆粒的氧化的抗氧化劑、和水。對該研磨用組合物(1)施加磁場而形成含有磁性顆粒的磁粒簇(3)，使磁粒簇(3)接觸研磨對象物(5)而對研磨對象物(5)進行研磨。

技術領域

本發明涉及研磨用組合物及其制造方法以及磁研磨方法

背景技術

作為以高精度對材料的表面進行精加工的研磨方法(例如鏡面精加工)，已知有磁研磨方法。磁研磨方法為使用在磁性流體、磁粘滯性流體、磁性混合流體等在磁場中會發生反應的功能性流體中混合非磁性的研磨顆粒而得到的漿料作為研磨用組合物的研磨方法，對研磨用組合物施加磁場而形成磁粒簇，使磁粒簇作為研磨工具接觸研磨對象物，由此進行研磨。

例如專利文獻1中公開了使用含有磁性顆粒、研磨顆粒、用于使膠體尺寸的顆粒穩定的穩定劑、用于調節粘性的添加劑、及載體流體的研磨用組合物的磁研磨方法。另外，專利文獻2中公開了使用顆粒分散型混合功能性流體作為研磨用組合物的磁研磨方法。

但是，對于專利文獻1、2中公開的研磨用組合物，作為磁性顆粒的鐵粉會因與水的接觸等而在研磨用組合物中氧化，因此有研磨用組合物的研磨性能經時降低的問題。另外，會由于鐵粉的氧化而產生氫氣，因此在安全性方面也存在問題。

專利文獻3、4中公開了為了抑制磁性顆粒的氧化，用聚合物材料等的保護層被覆磁性顆粒的表面的技術，但其效果不能說充分。另外，由于用保護層被覆磁性顆粒，因此還有需要成本、功夫的問題。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特表2002-544318號公報

專利文獻2：日本特開2010-214505號公報

專利文獻3：日本特開2005-40944號公報

專利文獻4：日本特開2007-326183號公報

發明內容

發明要解決的問題

因此，本發明的課題在于，解決上述那樣的現有技術所具有的問題，提供磁性顆粒不易發生氧化的研磨用組合物及其制造方法以及磁研磨方法。

用于解決問題的方案

為了解決前述問題，本發明的一個方案的研磨用組合物的主旨在于，含有磁性顆粒、用于抑制磁性顆粒的氧化的抗氧化劑、和水。

另外，本發明的又一方案的磁研磨方法的主旨在于，其是使用上述一個方案的研磨用組合物對研磨對象物進行研磨的磁研磨方法，所述研磨方法包含如下工序：對所述研磨用組合物施加磁場而形成含有磁性顆粒的磁粒簇，使磁粒簇接觸研磨對象物而對研磨對象物進行研磨。

進而，本發明的又一方案的研磨用組合物的制造方法的主旨在于，其是制造上述一個方案的研磨用組合物的方法，所述制造方法包含將含有磁性顆粒的第1成分和含有水的第2成分混合的工序。

發明的效果

本發明的研磨用組合物的磁性顆粒不易發生氧化。另外，本發明的研磨用組合物的制造方法能夠得到磁性顆粒不易發生氧化的研磨用組合物。進而，本發明的磁研磨方法由于磁性顆粒不易發生氧化，因此能夠以高精度對研磨對象物進行精加工的研磨。

附圖說明

圖1為說明本發明的磁研磨方法的一個實施方式的圖。

附圖標記說明