[發(fā)明專利]線材卷繞鍍膜機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710209133.3
• 申請日: 2017-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN106835051B
• 公開（公告）日: 2023-07-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳自新;朱海鋒;鄭立冬;李偉
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫光潤真空科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35;C23C14/56;B05B13/02
• 代理公司: 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32228
• 代理人: 聶啟新

1.線材卷繞鍍膜機(jī)，其特征在于：包括真空腔室(1)，于所述真空腔室(1)的內(nèi)部設(shè)置帶有線材的卷繞系統(tǒng)、用于在線材表面鍍膜的鍍膜系統(tǒng)、用于冷卻的水冷銅板(23)及用于噴涂硅油的噴硅油裝置(18)，在所述真空腔室(1)的一側(cè)還設(shè)置用于保持真空腔室(1)內(nèi)高真空環(huán)境的抽真空系統(tǒng)；

所述抽真空系統(tǒng)的具體結(jié)構(gòu)如下：

包括帶有主閥閥門(3)的主閥(2)，所述主閥(2)的入口與真空腔室(1)連通，所述主閥(2)的出口通過第一真空管(4)連接粗抽閥門(5)，所述粗抽閥門(5)通過第二真空管道(6)分別連接精抽閥門(7)及前級泵(8)，所述精抽閥門(7)還與擴(kuò)散泵(9)連接；

所述卷繞系統(tǒng)的具體結(jié)構(gòu)如下：

包括放輥(13)及收輥(21)，所述放輥(13)與放輥電機(jī)(11)的輸出端連接，所述收輥(21)與收輥電機(jī)(12)的輸出端連接，所述放輥(13)與收輥(21)之間通過需要鍍膜的同一組線材順序連接第一導(dǎo)向輥(14)、第二導(dǎo)向輥(15)、第三導(dǎo)向輥(17)及第四導(dǎo)向輥(19)；所述線材按序經(jīng)過第一導(dǎo)向輥(14)、第二導(dǎo)向輥(15)、并沿第三導(dǎo)向輥(17)表面一次卷繞折返至第二導(dǎo)向輥(15)，然后沿第二導(dǎo)向輥(15)表面二次卷繞后按序經(jīng)過第三導(dǎo)向輥(17)及第四導(dǎo)向輥(19)；

所述鍍膜系統(tǒng)的具體結(jié)構(gòu)如下：

包括設(shè)置鍍膜室(16)，于所述鍍膜室(16)內(nèi)分別設(shè)置上平面靶(22)及下平面靶(25)，于所述上平面靶(22)及下平面靶(25)之間、在所述鍍膜室(16)的一側(cè)還設(shè)置充氣管(24)；于收輥(21)及第四導(dǎo)向輥(19)之間、在所述真空腔室(1)內(nèi)還設(shè)置用于使線材卷纏繞均勻的撥線裝置(20)；待真空腔室(1)內(nèi)真空抽至3*10^-3Pa以下時(shí)，充氣管(24)內(nèi)充入工作氣體，上平面靶(22)與下平面靶(24)加電壓進(jìn)行輝光放電，待輝光放電過程穩(wěn)定后，啟動(dòng)放輥電機(jī)(11)及收輥電機(jī)(12)，線材由第一導(dǎo)向輥(14)傳遞并進(jìn)入鍍膜室(16)內(nèi)部，在經(jīng)過第二導(dǎo)向輥(15)、第三導(dǎo)向輥(17)時(shí)由上平面靶(22)與下平面靶(25)進(jìn)行磁控濺射鍍膜材料到線材上，在工作過程中由水冷銅板(23)實(shí)現(xiàn)工作溫度的降低，防止累積升溫，同時(shí)在鍍膜過程中還可以由噴硅油裝置(18)在線材表面噴硅油后再成卷。

2.如權(quán)利要求1所述的線材卷繞鍍膜機(jī)，其特征在于：于所述真空腔室(1)的入口段還設(shè)置用于控制真空腔室(1)內(nèi)氣壓范圍的節(jié)流閥(10)。

3.如權(quán)利要求1所述的線材卷繞鍍膜機(jī)，其特征在于：所述鍍膜室(16)設(shè)置于第二導(dǎo)向輥(15)、第三導(dǎo)向輥(17)的外圍。

4.如權(quán)利要求1所述的線材卷繞鍍膜機(jī)，其特征在于：所述水冷銅板(23)與下平面靶(25)均固定于鍍膜室(16)的底板上。