[發(fā)明專利]一種離子源測(cè)試夾具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710204368.3
• 申請(qǐng)日: 2017-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN106841706B
• 公開（公告）日: 2023-06-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 嚴(yán)飛;陳磊;金大志;張國(guó)亮;鐘偉;顏勝美
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)工程物理研究院電子工程研究所
• 主分類號(hào): G01R1/04
• 分類號(hào): G01R1/04
• 代理公司: 中國(guó)工程物理研究院專利中心 51210
• 代理人: 翟長(zhǎng)明;韓志英

1.一種離子源測(cè)試夾具，其特征在于：所述的測(cè)試夾具包括金屬底座(1)，金屬單尖樣品(2)、絕緣層壓塊(3)，絕緣遮蔽層(4)，柵極金屬片(5)，螺柱(6)，金屬單尖樣品(2)的剖面為T型，T型的底部為固定端，T型的頂部為尖端，金屬單尖樣品(2)的固定端固定在金屬底座(1)的卡槽內(nèi)，金屬單尖樣品(2)的尖端豎直朝上，金屬單尖樣品(2)的尖端從下至上順序穿過(guò)絕緣層壓塊(3)、絕緣遮蔽層(4)和柵極金屬片(5)，金屬單尖樣品(2)的尖端與柵極金屬片(5)的上表面平齊，所述的柵極金屬片(5)上開有圓孔Ⅰ，金屬單尖樣品(2)的尖端位于圓孔Ⅰ的中心；所述的絕緣遮蔽層(4)的外沿超過(guò)絕緣層壓塊(3)的外沿，形成絕緣遮蔽層(4)的邊緣，在絕緣遮蔽層(4)的邊緣通過(guò)絕緣遮蔽層(4)上的貫穿孔穿過(guò)螺柱(6)，螺柱(6)的下端通過(guò)螺帽Ⅰ與金屬底座(1)固定，在貫穿孔處的絕緣遮蔽層(4)的上表面和下表面分別固定螺帽Ⅱ和螺帽Ⅲ，調(diào)節(jié)螺帽Ⅲ使得絕緣遮蔽層(4)在豎直方向上下移動(dòng)；貫穿孔的直徑大于螺柱(6)的外徑，沿絕緣遮蔽層(4)的外沿對(duì)稱分布的L型壓塊(7)，螺釘Ⅰ位于L型壓塊(7)的豎直面，與絕緣遮蔽層(4)的外沿相接觸，螺釘Ⅱ位于L型壓塊(7)的水平面并固定在金屬底座(1)上，使用L型壓塊(7)固定絕緣遮蔽層(4)與金屬底座(1)的相對(duì)位置，調(diào)節(jié)螺釘Ⅰ在水平平面上移動(dòng)絕緣遮蔽層(4)，直至金屬單尖樣品(2)的尖端位于柵極金屬片(5)圓孔的中心，壓緊螺帽Ⅱ固定絕緣遮蔽層(4)；從柵極金屬片上的螺釘處引出一個(gè)電極作為柵極，從螺柱處引出另一個(gè)電極作為陰極，在陰柵電極之間施加高電壓，金屬單尖樣品的尖端附近會(huì)產(chǎn)生很強(qiáng)的電場(chǎng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的離子源測(cè)試夾具，其特征在于：所述的絕緣遮蔽層(4)開有豎直的圓孔Ⅱ，金屬單尖樣品(2)通過(guò)圓孔Ⅱ穿出，圓孔Ⅱ的內(nèi)徑尺寸略小于柵極金屬片(5)的圓孔Ⅰ的內(nèi)徑。