[發明專利]玻璃基板研磨系統

在審

• 申請號: 201710204158.4
• 申請日: 2017-03-30
• 公開（公告）號: CN106903568A
• 公開（公告）日: 2017-06-30
• 發明（設計）人: 李青;蘇記華;李赫然;支軍令;穆美強;杜躍武;張云曉;孟偉華;李躍鑫
• 申請（專利權）人: 鄭州旭飛光電科技有限公司;東旭光電科技股份有限公司
• 主分類號: B24B9/10
• 分類號: B24B9/10;B24B55/02;B24B55/06;B24B51/00;B24B49/00;B24B27/00
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙)11447
• 代理人: 陳慶超,桑傳標

1.一種玻璃基板研磨系統，其特征在于，包括：

研磨裝置，包括研磨罩(1)，設置于所述研磨罩(1)內的研磨輪(2)以及用于驅動所述研磨輪(2)旋轉的第一驅動件(3)，所述玻璃基板(4)的邊緣進入沿所述研磨輪(2)周向延伸的研磨槽內，

冷卻裝置，設置于所述研磨罩(1)內，用于向所述研磨輪(2)和所述玻璃基板(4)接觸的研磨位置噴冷卻水，

抽水裝置，連接至所述研磨罩(1)，用于抽出所述研磨罩(1)內的所述冷卻水。

2.根據權利要求1所述的玻璃基板研磨系統，其特征在于，所述抽水裝置包括抽吸源和連通在該抽吸源下方的蓄水區，所述研磨罩(1)內部通過第一管路(6)連通至所述抽吸源。

3.根據權利要求2所述的玻璃基板研磨系統，其特征在于，所述抽吸源包括風機(5)，用于驅動所述風機(5)的第二驅動件(7)以及連接于所述風機(5)的進氣口和所述第一管路(6)之間的分離裝置(13)，所述分離裝置(13)用于將抽吸的冷卻水和空氣分離并將所述冷卻水輸送至所述蓄水區。

4.根據權利要求3所述的玻璃基板研磨系統，其特征在于，所述分離裝置(13)包括進口、用于排出冷卻水的出液口以及用于排出空氣的出氣口，所述第一管路(6)連接至所述分離裝置(13)的所述進口，所述分離裝置(13)的所述出氣口連接至所述風機(5)的進氣口，所述出液口連接至所述蓄水區。

5.根據權利要求3所述的玻璃基板研磨系統，其特征在于，所述蓄水區包括用于收集所述冷卻水的水箱(8)，所述水箱(8)通過第二管路(9)連接至所述分離裝置(13)的所述出液口。

6.根據權利要求1-5中任意一項所述的玻璃基板研磨系統，其特征在于，所述研磨系統還包括用于獲取所述玻璃基板(4)和所述研磨輪(2)相接觸研磨位置的位置信息的檢測裝置以及與所述檢測裝置電連接的顯示裝置(11)。

7.根據權利要求6所述的玻璃基板研磨系統，其特征在于，所述檢測裝置包括接近開關(10)和用于驅動所述接近開關(10)靠近或遠離所述玻璃基板(4)邊緣的第三驅動件(12)。

8.根據權利要求6所述的玻璃基板研磨系統，其特征在于，所述檢測裝置為分別設置在所述玻璃基板(4)兩側邊緣的兩個。

9.根據權利要求6所述的玻璃基板研磨系統，其特征在于，所述檢測裝置用于檢測所述玻璃基板(4)沿一側邊緣間隔設置的多個研磨位置。

10.根據權利要求7所述的玻璃基板研磨系統，其特征在于，還包括控制終端，所述控制終端內置所述顯示裝置(11)和控制器，所述控制器與所述第三驅動件(12)電連接。