[發明專利]表面輪廓掃描方法及其裝置

有效

• 申請號: 201710204110.3
• 申請日: 2017-03-30
• 公開（公告）號: CN108662985B
• 公開（公告）日: 2020-12-11
• 發明（設計）人: 周智川;陳建國;楊沛哲
• 申請（專利權）人: 均豪精密工業股份有限公司
• 主分類號: G01B11/24
• 分類號: G01B11/24;G01B9/02
• 代理公司: 北京科龍寰宇知識產權代理有限責任公司 11139
• 代理人: 孫皓晨

1.一種表面輪廓掃描方法，其特征在于，包含以下步驟：

設定掃描區域，將一測試件設定為至少一掃描區與至少一移動區；

執行掃描，一設于一掃描單元的一干涉物鏡于該掃描區移動，以使該掃描單元于該掃描區對該測試件進行掃描，并得出一掃描信息，對該掃描信息進行運算以形成一對應該掃描區的掃描輪廓值；一耦接于該掃描單元的移動模塊控制該掃描單元于該移動區移動一預定距離，該掃描單元未進行掃描時，設定對應該移動區的一預定輪廓值，一耦接該干涉物鏡的壓電微致動器帶動該干涉物鏡，以使該干涉物鏡相對于該測試件呈一軸向移動，于該干涉物鏡移動時，該掃描單元掃描該測試件，以得到該測試件的表面輪廓；以及

得出表面輪廓，該預定輪廓值與該掃描輪廓值進行組合，以得出該測試件的表面輪廓。

2.如權利要求1所述的表面輪廓掃描方法，其特征在于：

于該設定掃描區域的步驟中，依據該表面輪廓以一第一比例區分，從而得出該掃描區，再將該表面輪廓以一第二比例區分，從而得出該移動區，藉此于該設定掃描區域的步驟中設定該掃描區與該移動區。

3.如權利要求1所述的表面輪廓掃描方法，其特征在于，于該設定掃描區域的步驟中，是將該測試件的表面輪廓以一第一比例區分而得出該掃描區，再將該表面輪廓以一第二比例區分而得出該移動區。

4.如權利要求2或3所述的表面輪廓掃描方法，其特征在于，于該設定掃描區域的步驟中，該測試件具有多個測試位置，于每一測試位置分別設定該掃描區與該移動區。

5.如權利要求4所述的表面輪廓掃描方法，其特征在于，于該設定掃描區域的步驟中，該表面輪廓以一第三比例區分而得出至少另一掃描區，該第三比例大于、等于或小于該第一比例；于該執行掃描的步驟中，該干涉物鏡于該另一掃描區移動，該掃描單元對該另一掃描區進行掃描而得出另一掃描信息，該另一掃描信息形成對應該另一掃描區的另一掃描輪廓值；于該得出輪廓值的步驟中，該預定輪廓值與該掃描輪廓值以及該另一掃描輪廓值進行組合，以得出該表面輪廓。

6.如權利要求1所述的表面輪廓掃描方法，其特征在于，于執行掃描的步驟中，該掃描單元先掃描該掃描區，該掃描單元后于該移動區移動；或者該掃描單元先于該移動區移動，該掃描單元后掃描該掃描區。

7.如權利要求2所述的表面輪廓掃描方法，其特征在于，于該掃描測試件的步驟中，該測試件區分為多個測試位置，該掃描單元掃描單一測試位置或多個測試位置。

8.如權利要求1所述的表面輪廓掃描方法，其特征在于，于該設定掃描區域的步驟中，該掃描區與該移動區相鄰，或者該掃描區與該移動區重迭。

9.一種表面輪廓掃描裝置，其特征在于，其包含：

一移動模塊；

一掃描單元，其與該移動模塊耦接，該掃描單元具有一視覺模塊與一干涉物鏡，該掃描單元具有一壓電微致動器，該壓電微致動器耦接該干涉物鏡；以及

一整合單元，其與該掃描單元連接；

其中，該移動模塊控制該掃描單元相對于一測試件呈一軸向移動；該壓電微致動器帶動該干涉物鏡，以使該干涉物鏡相對于該測試件呈一軸向移動，于該干涉物鏡移動時，該掃描單元掃描該測試件；該測試件設定為至少一掃描區與至少一移動區；該掃描單元提供一測試光束，該測試光束通過該干涉物鏡，以投影至該掃描區，并形成一反射光束，該反射光束通過該干涉物鏡后導向該視覺模塊并被該視覺模塊接收，從而形成一掃描信息，該整合單元運算該掃描信息，以形成一對應該掃描區的掃描輪廓值；該移動模塊控制該掃描單元于該移動區移動一預定距離，該掃描單元未進行掃描時，設定對應該移動區的一預定輪廓值；該整合單元與該掃描輪廓值以及該預定輪廓值組合，以得出該測試件的表面輪廓。

10.如權利要求9所述的表面輪廓掃描裝置，其特征在于，該掃描單元具有一第一透鏡、一分光鏡、一第二透鏡與一光源，該第一透鏡位于該視覺模塊的下方，該分光鏡位于該第一透鏡的下方，該第二透鏡位于該分光鏡的一側，該光源位于該第二透鏡的一側，該壓電微致動器位于該分光鏡的下方，該光源提供該測試光束，該測試光束通過該第二透鏡、該分光鏡與該干涉物鏡后投射至該測試件，并形成該反射光束，該反射光束通過該干涉物鏡、該分光鏡與該第一透鏡后被該視覺模塊接收。