[發(fā)明專利]聚合物微盤與液體微腔級(jí)聯(lián)的高靈敏度生化傳感器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710201274.0
• 申請(qǐng)日: 2017-03-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107014777B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-12-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王玲芳;郭峰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N21/45
• 分類號(hào): G01N21/45
• 代理公司: 51227 成都宏順專利代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 周永宏;王偉<國(guó)際申請(qǐng)>=<國(guó)際公布>=

1.一種聚合物微盤與液體微腔級(jí)聯(lián)的高靈敏度生化傳感器，其特征在于，包括從下往上依次層疊的基底、下包層(1)和上包層；所述下包層(1)設(shè)置有貫穿其上表面的單模波導(dǎo)(4)，所述單模波導(dǎo)(4)的兩端分別設(shè)置有光輸入端(2)和光輸出端(3)；所述單模波導(dǎo)(4)與所述光輸入端(2)連接的一端設(shè)置有第一弧形部分(5)，與所述光輸出端(3)連接的一端設(shè)置有第二弧形部分(6)；所述第一弧形部分(5)和第二弧形部分(6)均為向所述單模波導(dǎo)(4)外側(cè)凸起的弧形結(jié)構(gòu)；所述第一弧形部分(5)的外側(cè)設(shè)置有參考微盤(7)，所述參考微盤(7)具有近似周期濾波特性的回音壁模式諧振腔，所述參考微盤(7)通過(guò)第一多模干涉耦合器(8)與所述第一弧形部分(5)連接；所述第二弧形部分(6)的外側(cè)設(shè)置有液體微腔(9)，所述液體微腔(9)從上包層刻蝕穿透基底，以被測(cè)液體作為波導(dǎo)芯層，利用芯層導(dǎo)模傳感，所述液體微腔(9)通過(guò)第二多模干涉耦合器(10)與所述第二弧形部分(6)連接。

2.如權(quán)利要求1所述的聚合物微盤與液體微腔級(jí)聯(lián)的高靈敏度生化傳感器，其特征在于，所述基底采用硅，所述下包層(1)采用二氧化硅，所述上包層采用聚合物材料。

3.如權(quán)利要求2所述的聚合物微盤與液體微腔級(jí)聯(lián)的高靈敏度生化傳感器，其特征在于，所述參考微盤(7)與所述單模波導(dǎo)(4)采用相同的材料和波導(dǎo)厚度。

4.如權(quán)利要求3所述的聚合物微盤與液體微腔級(jí)聯(lián)的高靈敏度生化傳感器，其特征在于，所述參考微盤(7)與所述液體微腔(9)采用不同的半徑尺寸。

5.如權(quán)利要求4所述的聚合物微盤與液體微腔級(jí)聯(lián)的高靈敏度生化傳感器，其特征在于，所述單模波導(dǎo)(4)、參考微盤(7)、液體微腔(9)、第一多模干涉耦合器(8)和第二多模干涉耦合器(10)均由平面集成光波導(dǎo)或分立光學(xué)元件構(gòu)成。

6.如權(quán)利要求5所述的聚合物微盤與液體微腔級(jí)聯(lián)的高靈敏度生化傳感器，其特征在于，所述參考微盤(7)和所述液體微腔(9)具有近似周期性濾波特性。

7.如權(quán)利要求1所述的聚合物微盤與液體微腔級(jí)聯(lián)的高靈敏度生化傳感器，其特征在于，所述參考微盤(7)和所述液體微腔(9)通過(guò)所述單模波導(dǎo)(4)級(jí)聯(lián)。