[發明專利]刀片涂層夾具及涂層機在審
| 申請號: | 201710199222.4 | 申請日: | 2017-03-29 |
| 公開(公告)號: | CN108660440A | 公開(公告)日: | 2018-10-16 |
| 發明(設計)人: | 唐永炳;石磊;蔣春磊 | 申請(專利權)人: | 深圳先進技術研究院 |
| 主分類號: | C23C16/458 | 分類號: | C23C16/458;C23C14/50 |
| 代理公司: | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝傳鑫;熊永強 |
| 地址: | 518055 廣東省深圳*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 刀片涂層 夾具 刀片 涂層作業 涂層機 基底 固定結構 夾裝槽 刻度桿 夾具安裝 刻度位置 相對滑動 平面狀 設置孔 靶材 地裝 預設 刀具 | ||
1.一種刀片涂層夾具,用以固定待涂層的刀片,其特征在于,所述刀片涂層夾具包括刻度桿以及基底,所述基底具有一裝配面以及設置在所述裝配面上的若干夾持槽,所述夾裝槽匹配所述待涂層的刀片設置以夾持所述待涂層的刀片,所述基底裝設在所述刻度桿上,并可沿所述刻度桿的長度延伸方向滑動,以調節固定在所述基底上的所述待涂層的刀片與一涂層機中的涂層靶材之間的距離。
2.如權利要求1所述的刀片涂層夾具,其特征在于,所述基底還包括靠近所述夾裝槽的邊緣設置至少兩個固定件,每一所述夾裝槽的相對兩個側邊分別設置一個固定件,所述固定件抵持位于所述夾裝槽中的所述待涂層的刀片。
3.如權利要求2所述的刀片涂層夾具,其特征在于,所述基底還包括靠近所述夾裝槽相對兩個側邊設置的螺孔以及套設在所述固定件上的墊圈,所述固定件穿過所述墊圈并通過螺紋連接的方式安裝在所述螺孔內,所述墊圈抵持所述夾裝槽中的待涂層的刀片的邊緣位置。
4.如權利要求1所述的刀片涂層夾具,其特征在于,所述基底還包括與所述裝配面相交的相對兩個安裝面,所述夾裝槽靠近兩個所述安裝面設置,并且貫通所述安裝面從而在所述安裝面上形成一開口,所述待涂層的刀片從所述開口安裝至所述夾裝槽內。
5.如權利要求4所述的刀片涂層夾具,其特征在于,所述夾裝槽分別依次交替地靠近相對兩個安裝面設置,且相鄰的兩個夾裝槽的開口方向相反。
6.如權利要求1所述的刀片涂層夾具,其特征在于,所述基底還包括貫穿所述裝配面設置的安裝孔、與所述安裝孔相連通的鎖持孔以及安裝在所述鎖持孔中的鎖持件,所述基底通過所述安裝孔安裝在所述刻度桿上,所述鎖持件抵持位于所述安裝孔內的所述刻度桿以實現所述基底與刻度桿之間的固定。
7.如權利要求1所述的刀片涂層夾具,其特征在于,所述基底以所述刻度桿為軸旋轉,以調節所述待涂層的刀片相對于所述涂層靶材的水平位置。
8.如權利要求1至7任一項所述的刀片涂層夾具,其特征在于,所述刻度桿的一端開設有一裝配孔,所述裝配孔沿所述刻度桿的長度延伸方向設置,用以將所述刻度桿固定在所述涂層機中。
9.如權利要求8所述的刀片涂層夾具,其特征在于,所述刻度桿上的刻度以遠離所述裝配孔的一端作為刻度的零點,并在沿著靠近所述裝配孔的方向其刻度值逐漸加大,所述刻度桿通過其上的刻度值來定位所述基底,并確定所述基底上的刀片與所述涂層靶材之間的距離。
10.一種涂層機,用于對待涂層的刀片進行涂層加工,所述涂層機包括涂層靶材,其特征在于,所述涂層機還包括如權利要求1至9任一項所述的刀片涂層夾具,所述刀片涂層夾具用以夾持待涂層的刀片。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





