[發明專利]用于零攝氏度以下固體介質空間電荷測量的電極系統

在審

• 申請號: 201710198467.5
• 申請日: 2017-03-29
• 公開（公告）號: CN106918748A
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發明（設計）人: 王亞林;吳建東;尹毅
• 申請（專利權）人: 上海交通大學
• 主分類號: G01R29/24
• 分類號: G01R29/24
• 代理公司: 上海交達專利事務所31201
• 代理人: 王毓理,王錫麟

1.一種用于零攝氏度以下固體介質空間電荷測量的電極系統，其特征在于，包括：上電極模塊、下電極模塊以及分別與之相連的外圍設備模塊，其中：上電極模塊通過外加的脈沖源和直流高壓源產生空間電荷，并通過下電極模塊進行空間電荷的測量；外圍設備模塊為上電極模塊和下電極模塊提供測量環境；

所述的測量環境是指：上電極模塊和下電極模塊共同形成內部真空的密閉腔體，腔體內處于零攝氏度以下的恒定溫度；

所述的上電極模塊包括：耐低溫O型圈、外金屬罩、設置于金屬罩內的半導電片和上圓柱下圓盤結構的上電極，其中：耐低溫O型圈沿外金屬罩的底邊設置，上電極的下表面與半導電片的上表面緊密接觸；

所述的下電極模塊包括：熱電偶、寬頻放大器、下電極板、開設于下電極板下方的液氮環形通道、位于環形結構內的壓電傳感器和電加熱圈，其中：壓電傳感器緊貼下電極板的下表面，寬頻放大器與壓電傳感器相連；熱電偶埋設于下電極板上方，電加熱圈環繞壓電傳感器設置，并與壓電傳感器通過下電極板的延伸部分隔開；

所述的外圍設備模塊包括：真空泵、液氮杜瓦罐和溫度控制器。

2.根據權利要求1所述的電極系統，其特征是，所述的圓柱伸出外金屬罩與外加的脈沖源和直流高壓源相連。

3.根據權利要求1所述的電極系統，其特征是，所述的外金屬罩的頂部內側與圓柱的伸出部分之間設有相配合的上電極絕緣盤。

4.根據權利要求1所述的電極系統，其特征是，所述的外金屬罩的側面設有真空抽氣管。

5.根據權利要求1所述的電極系統，其特征是，所述的液氮環形通道開設有液氮入口和液氮出口。

6.根據權利要求1所述的電極系統，其特征是，所述的耐低溫O型圈與下電極板緊密接觸。

7.根據權利要求1所述的電極系統，其特征是，所述的外金屬罩內放置試樣，試樣的上表面與半導電片緊密接觸，下表面與下電極板的上表面緊密接觸。

8.根據權利要求1所述的電極系統，其特征是，所述的真空泵與真空抽氣管相連。

9.根據權利要求1所述的電極系統，其特征是，所述的液氮杜瓦罐與液氮入口相連。

10.根據權利要求1所述的電極系統，其特征是，所述的溫度控制器與設置與下電極板上且正對試樣的測溫熱電偶相連。