[發(fā)明專利]基于掃描探針的光路減震裝置及方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710196841.8
• 申請日: 2017-03-29
• 公開（公告）號: CN107064563B
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 藍劍越;劉爭暉;徐耿釗;鐘海艦;陳科蓓;張春玉;徐科
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所
• 主分類號: G01Q30/00
• 分類號: G01Q30/00
• 代理公司: 上海翼勝專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 31218
• 代理人: 翟羽

1.一種基于掃描探針的光路減震的方法，其特征在于，所述方法采用一種基于掃描探針的光路減震裝置，所述裝置包括：

一控制器；

一第一掃描振鏡及一第二掃描振鏡，所述第一掃描振鏡設(shè)置在光源之后，用于改變光源發(fā)出的光的光路，所述第二掃描振鏡設(shè)置在所述第一掃描振鏡與樣品臺之間，用于改變第一掃描振鏡反射的光的光路，并將光反射向樣品臺，所述第一掃描振鏡及第二掃描振鏡分別與控制器電連接，所述控制器控制第一掃描振鏡及第二掃描振鏡的轉(zhuǎn)動；

一第一采樣鏡及一第二采樣鏡，所述第一采樣鏡設(shè)置在第一掃描振鏡及第二掃描振鏡之間的光路上，用于采集該光路的光信號，所述第二采樣鏡設(shè)置在第二掃描振鏡與樣品臺之間的光路上，用于采集該光路的光信號；

一第一四象限光探測器及一第二四象限光探測器，所述第一四象限光探測器相對于第一采樣鏡設(shè)置，用于檢測來自第一采樣鏡的光，并將該光在第一四象限光探測器上的位置信息傳遞給控制器，所述第二四象限光探測器相對于第二采樣鏡設(shè)置，用于檢測來自第二采樣鏡的光，并將該光在第二四象限光探測器上的位置信息傳遞給控制器；

所述方法包括如下步驟：

第一掃描振鏡反射光源發(fā)射的光，并將所述光反射向第二掃描振鏡，第二掃描振鏡接收來自第一掃描振鏡反射的光，并改變光路，使光射向樣品臺；

設(shè)置在第一掃描振鏡與第二掃描振鏡之間的光路上的第一采樣鏡采集該光路的光，并將光反射向第一四象限光探測器；

所述第一四象限光探測器檢測該光在該第一四象限光探測器上的位置，并將該位置信息反饋給控制器；

若所述光在該第一四象限光探測器上的位置不在所述第一四象限光探測器的中心，則所述控制器調(diào)節(jié)所述第一掃描振鏡，改變光路，使光在該第一四象限光探測器的中心；

設(shè)置在第二掃描振鏡與樣品臺之間的光路上的第二采樣鏡采集該光路的光，并將該光反射向第二四象限光探測器；

所述第二四象限光探測器檢測該光在該第二四象限光探測器上的位置，并將該位置信息反饋給控制器；

若所述在該第二四象限光探測器上的位置不在所述第二四象限光探測器的中心，則所述控制器調(diào)節(jié)所述第二掃描振鏡，改變光路，使光在該第二四象限光探測器的中心。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的基于掃描探針的光路減震的方法，其特征在于，所述第一掃描振鏡與光源在同一水平面上放置，所述第一掃描振鏡將所述光源發(fā)射的光朝向豎直方向反射，所述第一掃描振鏡與所述第二掃描振鏡在同一豎直面上放置，所述第二掃描振鏡將接收的光朝向水平反向反射。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的基于掃描探針的光路減震的方法，其特征在于，還包括一反射鏡，所述反射鏡設(shè)置在第二掃描振鏡與樣品臺之間，將所述第二掃描振鏡反射的光反射向樣品臺。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于掃描探針的光路減震的方法，其特征在于，所述反射鏡與所述第二掃描振鏡在同一水平面上放置，并與所述樣品臺在同一豎直面上放置，所述反射鏡將所述第二掃描振鏡反射的光向豎直方向反射。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的基于掃描探針的光路減震的方法，其特征在于，還包括：若光在該第一四象限光探測器的中心，則控制器不調(diào)節(jié)第一掃描振鏡；和/或若光在該第二四象限光探測器的中心，則控制器不調(diào)節(jié)第二掃描振鏡。