[發(fā)明專利]一種成膜裝置、成膜方法及成膜源

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710192899.5
• 申請日: 2017-03-28
• 公開（公告）號: CN106967951B
• 公開（公告）日: 2019-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田寧;趙云;張為蒼;李建華;楊輔
• 申請（專利權(quán)）人: 信利半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 鄧義華;陳衛(wèi)

1.一種成膜裝置，其具有把室內(nèi)設(shè)置成真空或減壓狀態(tài)的成膜室、和在該成膜室內(nèi)將成膜材料成膜于基板上的被成膜面上的成膜源，其特征在于，所述成膜源包括將成膜材料加熱使其蒸發(fā)或升華為氣態(tài)的加熱坩堝、和與加熱坩堝氣密連通的至少兩個緩沖件以及用于實現(xiàn)每一緩沖件伸縮移動的驅(qū)動件；其中，

所述加熱坩堝包括用于收容所述成膜材料的坩堝以及用于加熱所述坩堝內(nèi)的成膜材料的加熱件；

每一所述緩沖件包括與所述坩堝氣密連通的恒溫容器、位于所述恒溫容器底部的下閥門、位于所述恒溫容器頂部的上閥門和出氣口、用于檢測所述恒溫容器的氣壓的壓力傳感器；

所述成膜裝置還包括控制器，其分別與所述加熱件、下閥門、上閥門、壓力傳感器及驅(qū)動件連接控制。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，所述恒溫容器為規(guī)則形狀的保溫容器。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的成膜裝置，其特征在于，所述坩堝頂部設(shè)置有一活動開口。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的成膜裝置，其特征在于，所述成膜裝置還包括在蒸鍍位上方的活動擋板，打開擋板使成膜材料成膜于所述擋板面上，關(guān)閉擋板使成膜材料成膜于所述被成膜面上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，所述成膜材料為升華性蒸鍍材料。

6.一種成膜方法，其包括以下步驟：成膜材料被加熱至蒸鍍或升華溫度形成蒸氣流，進入各緩沖件的恒溫容器；所有恒溫容器依次進行排氣成膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的成膜方法，其特征在于，所有恒溫容器依次進行排氣成膜具體包括以下步驟：第一個充滿的恒溫容器推送至蒸鍍位，關(guān)閉下閥門打開上閥門排出蒸氣流進行成膜，當恒溫容器氣壓低于預(yù)設(shè)低壓值時關(guān)閉上閥門打開下閥門，該恒溫容器回到充氣位進行再充氣；第二個充滿的恒溫容器推送至蒸鍍位，關(guān)閉下閥門打開上閥門排出蒸氣流進行成膜，當恒溫容器氣壓低于預(yù)設(shè)低壓值時關(guān)閉上閥門打開下閥門，該恒溫容器回到充氣位進行再充氣；如此循環(huán)直至停止排氣成膜。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的成膜方法，其特征在于，充滿的恒溫容器是指恒溫容器氣壓達到預(yù)設(shè)高壓值。

9.一種成膜源，其特征在于，其包括將成膜材料加熱使其蒸發(fā)或升華為氣態(tài)的加熱坩堝、和與加熱坩堝氣密連通的至少兩個緩沖件以及用于實現(xiàn)每一緩沖件伸縮移動的驅(qū)動件；

所述加熱坩堝包括用于收容所述成膜材料的坩堝以及用于加熱所述坩堝內(nèi)的成膜材料的加熱件；

每一所述緩沖件包括與所述坩堝氣密連通的恒溫容器、位于所述恒溫容器底部的下閥門、位于所述恒溫容器頂部的上閥門和出氣口、用于檢測所述恒溫容器的氣壓的壓力傳感器；其中，

所述加熱件、下閥門、上閥門、壓力傳感器及驅(qū)動件分別與成膜裝置的控制器連接。