[發明專利]一種真空鍍膜腔體檢漏系統及檢漏方法

有效

• 申請號: 201710191928.6
• 申請日: 2017-03-28
• 公開（公告）號: CN106802218B
• 公開（公告）日: 2023-08-04
• 發明（設計）人: 羅松松;張仰平;王東;張勇杰;王程;王翔宇
• 申請（專利權）人: 凱盛重工有限公司
• 主分類號: G01M3/20
• 分類號: G01M3/20
• 代理公司: 合肥東邦滋原專利代理事務所(普通合伙) 34155
• 代理人: 王蕓

1.一種真空鍍膜腔體檢漏系統，包括：被檢真空腔體、檢漏裝置、電控系統，其特征在于：被檢真空腔體下側連接有檢漏裝置，電控系統連接控制檢漏裝置，所述被檢真空腔體側壁上裝有破空裝置I和真空檢測元件I，所述檢漏裝置包括高真空泵、前級泵組I、前級泵組II、高真空蝶閥I、高真空蝶閥II、真空檢測元件、破空裝置、氦質譜檢漏儀、噴氦系統，高真空泵通過法蘭盤直接安裝在被檢真空腔體的側壁上，前級泵組I、前級泵組II通過真空管道串聯，后通過高真空蝶閥I與高真空泵串聯；在高真空蝶閥I與前級泵組I之間的主真空管道上，通過三通管道與被檢真空腔體之間設有一支路真空管道，所述主真空管道和支路真空管道在適當位置通過波紋管連接，所述支路真空管道與被檢真空腔體通過高真空蝶閥II連接；高真空蝶閥I與前級泵組I之間的真空管道上安裝有真空檢測元件II和破空裝置II，并且預留檢漏口閥門，氦質譜檢漏儀通過檢漏口閥門連接到真空泵抽系統中；所述高真空泵、前級泵組I、前級泵組II、高真空蝶閥I、高真空蝶閥II、真空檢測元件I、真空檢測元件II通過電纜與電控系統連接。

2.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜腔體檢漏系統，其特征在于：所述前級泵組I為羅茨泵，前級泵組II為旋片泵或螺桿泵；所述高真空泵為渦輪分子泵。

3.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜腔體檢漏系統，其特征在于：所述高真空泵的排氣口通過手動角閥以及波紋管連接到主抽氣管路中。

4.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜腔體檢漏系統，其特征在于：所述高真空泵為水冷泵，且在循環冷卻管路上需串聯水流量開關。

5.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜腔體檢漏系統，其特征在于：所述破空裝置I通過氣動角閥I連接到被檢真空腔體和真空管道上,破空裝置II通過氣動角閥II連接到被檢真空腔體和真空管道上，所述氣動角閥I、氣動角閥II通過電纜與電控系統連接。

6.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜腔體檢漏系統，其特征在于：所述真空檢測元件I為復合電離規，可檢測真空度范圍5x10^-9～1000mbar；所述真空檢測元件I通過手動角閥與被檢真空腔體連接。

7.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜腔體檢漏系統，其特征在于：所述真空檢測元件II為標準皮拉尼規，可檢測真空度范圍5x10^-4～1000mbar；所述真空檢測元件II通過KF型法蘭接口與主真空管道連接。

8.一種真空鍍膜腔體檢漏方法，包括以下步驟：

S101.首先檢查電氣接線及各管路連接，確保各電氣元器件接線正確以及硬件管路連接正確；

S102.接通柜外電源，閉合柜內斷路器；

S103.開啟循環冷卻水系統；

S104.在電控顯示屏上依次按下旋片泵和羅茨泵啟動按鈕；

S105.打開分子泵管路手動角閥，至最大開度；打開主真空管道氣動蝶閥；

S106.待腔體真空度達到8x10^-2mbar時，在電控顯示屏上按下分子泵啟動按鈕；

S107.待被檢真空腔體真空度達到5x10^-5mbar時，開啟檢漏儀，待自檢完成后，打開檢漏口閥門，此時可對被檢真空腔體利用噴氦系統進行檢漏操作；

S108.待檢漏完成后，關閉分子泵；

S19.等待15～20分鐘，待分子泵停止之后關閉主真空管道氣動蝶閥；

S110.在電控顯示屏上依次關閉羅茨泵和旋片泵；

S111.依次打開主真空管道破空角閥和腔體破空角閥，進行破空；

S113.斷開循環冷卻水.斷開柜內斷路器，斷開柜外電源，完成真空鍍膜腔體的檢漏。