[發明專利]一種調控磁性納米環尺寸的方法

在審

• 申請號: 201710190508.6
• 申請日: 2017-03-28
• 公開（公告）號: CN106917067A
• 公開（公告）日: 2017-07-04
• 發明（設計）人: 郭振剛
• 申請（專利權）人: 天津城建大學
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/58;B82Y40/00;H01F41/18;H01F41/30
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種調控磁性納米環尺寸的方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟一：選取一種基片作為薄膜樣品的襯底，切割成長10mm、寬10mm、厚0.5mm的大??；丙酮超聲波清洗10-15min，再用去離子水超聲波清洗10-15min，最后用無水乙醇超聲波清洗10-15min，清洗干凈后取出基片用高純氮氣吹干備用；

步驟二：選取一種聚苯乙烯微球乳液，按照乳液與去離子水體積比1:200進行稀釋后，在超聲波清洗器中超聲分散10-15min，使聚苯乙烯微球充分分散；將分散好的聚苯乙烯微球溶液滴在步驟一中清洗干凈的基片上，放置干燥箱中干燥；

步驟三：待基片充分干燥后，將其放入磁控濺射腔內，用磁控濺射方法先在基片上沉積非磁性過渡層，再沉積一層磁性薄膜，將基片放置于離子刻蝕儀器中，對薄膜進行離子減?。辉诰郾揭蚁┘{米微球周圍形成環狀的磁性納米結構，即磁性納米環。聚苯乙烯微球根據需要與否，用丙酮溶液將其從基片上清洗掉，得到磁性納米環。

2.根據權利要求1所述的一種調控磁性納米環尺寸的方法，其特征在于，所述步驟二中的基片與水平面成15°角放置在干燥箱中干燥，干燥箱溫度維持在55℃。

3.根據權利要求1所述的一種調控磁性納米環尺寸的方法，其特征在于，所述磁性納米環的材料是鐵、鈷、鎳單質鐵磁性金屬中的任意一種，或是以鐵、鈷、鎳為基體的鐵磁性合金材料中的任意一種，或是鐵磁性氧化物中的任意一種。

4.根據權利要求1所述的一種調控磁性納米環尺寸的方法，其特征在于，所述非磁性過渡層材料是非磁性金屬、非磁性絕緣體、其他非磁性合金或氧化物材料。

5.根據權利要求1所述的一種調控磁性納米環尺寸的方法，其特征在于，所述基片材料為非磁性絕緣體材料。