[發明專利]一種感光性樹脂組合物及其應用

有效

• 申請號: 201710188790.4
• 申請日: 2017-03-27
• 公開（公告）號: CN106896644B
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 于成華
• 申請（專利權）人: 青島藍帆新材料有限公司
• 主分類號: G03F7/004
• 分類號: G03F7/004;H01L23/29
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種感光性樹脂組合物，其特征在于，所述感光性樹脂組合物由以下質量百分比的原料和溶劑組成：

堿溶性樹脂：20-80％；

1,2-二疊氮醌化合物：2-15％；

聚乙烯樹脂：10-40％；

所述堿溶性樹脂為丙烯酸類共聚物，由以下三種物質共聚獲得：不飽和羧酸、不飽和羧酸酐或二者聚合物；含有羥基的烯類不飽和單體；烯烴類不飽和化合物；

所述1,2-二疊氮醌化合物為1,2-二疊氮醌化合物4-磺酸酯和1,2-二疊氮醌化合物5-磺酸酯中的至少一種；

所述聚乙烯樹脂，含有以下IA)、IB)、IC)和ID)重復單元：

IA)重復單元：

其中R1是氫、烷基、取代烷基、芳香基和取代芳香基，IA)的質量百分比為20-60％；

IB)重復單元：

其中R2是氫、烷基、取代烷基、芳香基和取代芳香基，IB)的質量百分比為10-30％；

IC)重復單元：

其中IC)的質量百分比為20-40％；

ID)重復單元：

其中ID)的質量百分比為1-3％；

所述溶劑為烷醇類，乙二醇烷基醚乙酸酯類，乙二醇烷基醚丙酸酯類，乙二醇單烷基醚類，二乙二醇烷基醚類，丙二醇烷基醚類乙酸酯類，丙二醇烷基醚丙酸酯類，丙二醇單烷基醚類，二丙二醇烷基醚類，丁二醇單烷基醚類，二丁二醇烷基醚類中的至少一種。

2.如權利要求1所述的一種感光性樹脂組合物，其特征在于，所述堿溶性樹脂換算成聚苯乙烯的重均分子量Mw為5000-30000。

3.一種半導體集成電路的絕緣平整化膜，其特征在于，所述絕緣平整化膜中含有如權利要求1所述的感光性樹脂組合物。

4.一種半導體集成電路的絕緣平整化膜的圖案形成方法，其特征在于，所述圖案形成方法中使用了如權利要求1所述的感光性樹脂組合物。