[發(fā)明專利]電壓非線性電阻元件及其制法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201710186997.8 | 申請日： | 2017-03-27 |
| 公開（公告）號： | CN107240466B | 公開（公告）日： | 2021-10-26 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 石川昌樹;早瀨徹;小林義政;森本健司 | 申請（專利權(quán)）人： | 日本礙子株式會社 |
| 主分類號： | H01C7/108 | 分類號： | H01C7/108;H01C7/112;H01C17/00 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243 | 代理人： | 鐘晶;陳彥 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電壓 非線性 電阻 元件 及其 制法 | ||
1.一種電壓非線性電阻元件，其具備：
以氧化鋅為主要成分的第1層，
以氧化鋅為主要成分的第2層，其與所述第1層相接，并且與所述第1層相比厚度薄且體積電阻率高，以及
以不同于氧化鋅的金屬氧化物為主要成分的第3層，其相接于所述第2層的與所述第1層相接一側(cè)的相反側(cè)，
所述第1層的體積電阻率為6.0×10-4Ωcm以下，所述第2層的體積電阻率為2×10-3Ωcm以下，
所述第3層由氧化鉍、氧化錳和氧化鈷構(gòu)成。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電壓非線性電阻元件，其中，所述第2層的厚度為0.2～300nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的電壓非線性電阻元件，其中，所述第1層含有選自由Al、Ga以及In組成的組中的至少1種金屬元素的氧化物。
4.一種電壓非線性電阻元件的制法，其為制造權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的電壓非線性電阻元件的方法，包含如下的工序：
(a)通過將氧化鋅粉末的成形體在非氧化氣氛下燒成而制作氧化鋅陶瓷基板的工序，
(b)通過將所述氧化鋅陶瓷基板在氧化氣氛下燒成而使所述氧化鋅陶瓷基板的表層變?yōu)榕c所述氧化鋅陶瓷基板的內(nèi)部相比體積電阻率高的層，從而分別將所述氧化鋅陶瓷基板的內(nèi)部以及表層制成所述第1層以及所述第2層的工序，以及
(c)在所述第2層的表面形成所述第3層的工序。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的電壓非線性電阻元件的制法，所述氧化鋅粉末還包含選自由Al、Ga以及In組成的組中的至少1種金屬元素的氧化物。
6.一種電壓非線性電阻元件的制法，其為制造權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的電壓非線性電阻元件的方法，包含如下的工序：
(a)通過將氧化鋅粉末的成形體在非氧化氣氛下燒成而制作氧化鋅陶瓷基板的工序，
(b)通過在所述氧化鋅陶瓷基板的表面成膜以氧化鋅為主要成分并且與所述氧化鋅陶瓷基板相比厚度薄且體積電阻率高的氧化鋅層，從而分別將所述氧化鋅陶瓷基板以及氧化鋅層制成所述第1層以及所述第2層的工序，以及
(c)在所述第2層的表面形成所述第3層的工序。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的電壓非線性電阻元件的制法，所述氧化鋅粉末還包含選自由Al、Ga以及In組成的組中的至少1種金屬元素的氧化物。
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