[發明專利]砂輪主軸傾斜放置并可空間轉動的超精密磨削裝置

有效

• 申請號: 201710186959.2
• 申請日: 2017-03-24
• 公開（公告）號: CN106826473B
• 公開（公告）日: 2018-12-11
• 發明（設計）人: 陳明君;王廷章;劉赫男;程健;張杰;高萬彬;方針;于波
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: B24B19/00
• 分類號: B24B19/00;B24B41/02;B24B51/00;B24B41/04;B24B47/20;B24B47/22;B24B55/00
• 代理公司: 哈爾濱市松花江專利商標事務所 23109
• 代理人: 岳昕

1.砂輪主軸傾斜放置并可空間轉動的超精密磨削裝置，其特征在于，它包括豎直結構件(1)、豎直軸運動平臺(2)、直角轉臺連接件(3)、精密直驅轉臺(4)、線纜固定裝置(5)、工作液轉接裝置(6)、過渡連接件(7)、一維微位移平臺(8)、球頭金剛石砂輪(9)、砂輪主軸(10)、砂輪主軸夾持裝置(11)、超精密定位平臺防護裝置(12)、超精密定位平臺(13)和豎直軸防護裝置(14)；

豎直軸運動平臺(2)的固定件通過內六角螺釘固定在豎直結構件(1)的橫梁上，直角轉臺連接件(3)通過臺階定位銷定位并與豎直軸運動平臺(2)的運動部件連接，精密直驅轉臺(4)固定在直角轉臺連接件(3)的下安裝面上，一維微位移平臺(8)通過過渡連接件(7)連接在精密直驅轉臺(4)的下側，一維微位移平臺(8)的下連接面通過螺栓與超精密定位平臺(13)的上端面連接；

砂輪主軸夾持裝置(11)通過螺釘與超精密定位平臺(13)的下端面連接，砂輪主軸(10)安裝于砂輪主軸夾持裝置(11)的圓孔中，通過內六角螺釘進行固定，球頭金剛石砂輪(9)通過彈性夾頭安裝在砂輪主軸(10)底端；

豎直軸防護裝置(14)安裝在豎直結構件(1)的橫梁上，豎直軸防護裝置(14)套設在豎直軸運動平臺(2)的外側，用于對豎直軸運動平臺(2)的防護；

工作液轉接裝置(6)安裝在豎直軸防護裝置(14)的內側，所述工作液轉接裝置(6)用于實現工作液噴嘴的添加和轉換；

超精密定位平臺防護裝置(12)通過螺釘連接與超精密定位平臺(13)連接，且超精密定位平臺防護裝置(12)套設在超精密定位平臺(13)的外側；

線纜固定裝置(5)用于固定砂輪主軸(10)的動力線和控制線。

2.根據權利要求1所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉動的超精密磨削裝置，其特征在于，豎直軸運動平臺(2)的行程為100mm，定位精度為0.5μm，直線度為1μm/25mm。

3.根據權利要求1或2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉動的超精密磨削裝置，其特征在于，超精密定位平臺(13)的行程為12mm，定位精度為±0.1μm。

4.根據權利要求1或2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉動的超精密磨削裝置，其特征在于，豎直結構件(1)包括兩個立柱和一個橫梁，所述兩個立柱通過內六角螺釘固定在橫梁的下側。

5.根據權利要求1或2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉動的超精密磨削裝置，其特征在于，直角轉臺連接件(3)為兩個相互垂直的方板構成的L型結構，且所述L型結構的兩側設有兩塊筋板。

6.根據權利要求2所述的砂輪主軸傾斜放置并可空間轉動的超精密磨削裝置，其特征在于，精密直驅轉臺(4)徑向跳動精度和軸向跳動精度均高于1.5μm。