[發明專利]薄膜濾波器及薄膜濾波器制造方法

有效

• 申請號: 201710185926.6
• 申請日: 2017-03-24
• 公開（公告）號: CN106848503B
• 公開（公告）日: 2020-05-29
• 發明（設計）人: 王聰玲;鐘清華;韓玉成;賈鵬樂;朱沙
• 申請（專利權）人: 中國振華集團云科電子有限公司
• 主分類號: H01P1/20
• 分類號: H01P1/20
• 代理公司: 北京超凡志成知識產權代理事務所(普通合伙) 11371
• 代理人: 黃彩榮

1.一種薄膜濾波器，其特征在于，所述薄膜濾波器包括：陶瓷基板、傳輸線和諧振器，所述諧振器包括：第一諧振器和第二諧振器；所述傳輸線和所述諧振器均印制在所述陶瓷基板的第一表面，所述傳輸線耦合所述薄膜濾波器的輸入端和輸出端，所述第一諧振器和所述第二諧振器分居所述傳輸線的兩側；

其中，每個所述第一諧振器均包括：第一平板電容和第一接地孔，每個所述第二諧振器均包括：第二平板電容和第二接地孔，所述第一平板電容和所述第一接地孔耦合，所述第二平板電容和所述第二接地孔耦合；

以及，所述諧振器為多組，且相鄰的兩組所述諧振器之間的所述傳輸線為彎折狀。

2.根據權利要求1所述的薄膜濾波器，其特征在于，每組所述諧振器由所述傳輸線一端至另一端依次印制在所述陶瓷基板的第一表面，每組所述諧振器所包括的所述第一諧振器和所述第二諧振器均分居所述傳輸線的兩側。

3.根據權利要求1所述的薄膜濾波器，其特征在于，所述陶瓷基板設有數量和所述第一接地孔匹配的多個第一通孔，以及數量和所述第二接地孔匹配的多個第二通孔，每個所述第一通孔均貫穿所述陶瓷基板并位于所述第一接地孔的下方，每個所述第二通孔均貫穿所述陶瓷基板并位于所述第二接地孔的下方。

4.根據權利要求2所述的薄膜濾波器，其特征在于，每組所述諧振器所包括的所述第一諧振器和所述第二諧振器平行，每組所述諧振器所包括的所述第一諧振器和所述第二諧振器在所述傳輸線兩側的位置相互匹配；

其中，所述相互匹配表示：所述第一諧振器的一端和所述第二諧振器的一端的連線能夠與垂直于所述傳輸線的參考線平行，而所述第一諧振器的另一端和所述第二諧振器的另一端的連線也能夠與垂直于所述傳輸線的參考線平行。

5.根據權利要求1所述的薄膜濾波器，其特征在于，所述傳輸線和每組所述諧振器均為由導電材料制成的薄片狀結構，所述陶瓷基板相對第一表面的第二表面均覆蓋有導電材料。

6.根據權利要求5所述的薄膜濾波器，其特征在于，所述陶瓷基板的介電常數大于或等于10。

7.根據權利要求1所述的薄膜濾波器，其特征在于，所述薄膜濾波器輸入端的第一表面和輸出端的第一表面、以及所述諧振器所包括的所述第一諧振器的第一表面和所述第二諧振器的第一表面均位于同一平面內。

8.一種薄膜濾波器制造方法，其特征在于，應用于如權利要求1-7任一項所述的薄膜濾波器，所述方法包括：

將傳輸線通過磁控濺射或光刻的方式印制在陶瓷基板的第一表面；

將諧振器通過所述磁控濺射或所述光刻的方式印制在所述陶瓷基板的第一表面，以使所述諧振器中的第一諧振器和第二諧振器分別位于所述傳輸線的兩側，其中，每個所述第一諧振器均包括：第一平板電容和第一接地孔，每個所述第二諧振器均包括：第二平板電容和第二接地孔，所述第一平板電容和所述第一接地孔耦合，所述第二平板電容和所述第二接地孔耦合；以及，所述諧振器為多組，且相鄰的兩組所述諧振器之間的所述傳輸線為彎折狀。