[發(fā)明專利]集成電路測(cè)試裝置及其測(cè)試探針

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710184918.X
• 申請(qǐng)日: 2017-03-24
• 公開（公告）號(hào): CN106841999B
• 公開（公告）日: 2023-05-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王國(guó)華;謝偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市斯納達(dá)科技有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28;G01R1/067;G01R1/073
• 代理公司: 深圳市沃德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44347
• 代理人: 高杰;于志光

本發(fā)明公開一種測(cè)試探針，包括由導(dǎo)電材料制成的針筒、連接于所述針筒一端的第一針頭、和連接于所述針筒另一端的第二針頭，所述測(cè)試探針還包括為針頭活動(dòng)提供彈力的非螺旋形彈性體，所述彈性體裝設(shè)在所述針筒內(nèi)，所述第一針頭的內(nèi)端可活動(dòng)地插設(shè)在所述針筒內(nèi)，所述第一針頭的外端伸出到所述針筒外，所述第一針頭的內(nèi)端與所述彈性體的一端抵接。本發(fā)明的測(cè)試探針制作容易且成本低，并且可滿足對(duì)高頻集成電路進(jìn)行測(cè)試的要求。本發(fā)明還公開一種采用所述測(cè)試探針的集成電路測(cè)試裝置。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及集成電路測(cè)試技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種集成電路測(cè)試裝置及其測(cè)試探針。

背景技術(shù)

隨著集成電路集成規(guī)模的擴(kuò)大和時(shí)鐘頻率的提高，信號(hào)連接線上的互連效應(yīng)已成為影響電路信號(hào)完整性以及系統(tǒng)整體性能的主要因素。在高速電路中，由于趨膚效應(yīng)，邊緣效應(yīng)以及襯底損耗等因素的影響，互連線的分布參數(shù)隨頻率變化的現(xiàn)象越來越普遍。對(duì)測(cè)試技術(shù)的要求也越來越高。

如圖1至圖3所示，現(xiàn)有集成電路測(cè)試裝置中所采用的傳統(tǒng)測(cè)試探針10一般由四個(gè)部分組成：上針頭11、針管12、彈簧13和下針頭14。其中，測(cè)試探針10的彈力是由組裝在針管12內(nèi)的彈簧13所提供，當(dāng)電信號(hào)通過彈簧13時(shí)，彈簧13就相當(dāng)于一個(gè)電感，測(cè)試探針10自感系數(shù)很高，導(dǎo)致測(cè)試探針能通過的高頻信號(hào)能力大大降低，難以滿足對(duì)高頻集成電路進(jìn)行測(cè)試的要求。目前，為了提高測(cè)試探針能通過高頻信號(hào)的能力，一般是盡可能地將測(cè)試探針做短，但這樣做使測(cè)試探針的制作難度加大，制作成本增加。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于提供一種制作容易且成本低的測(cè)試探針，所述測(cè)試探針用于集成電路測(cè)試裝置中時(shí)，可滿足對(duì)高頻集成電路進(jìn)行測(cè)試的要求。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種測(cè)試探針，用于集成電路測(cè)試裝置中以電性導(dǎo)通待測(cè)試集成電路和測(cè)試用印制電路板，所述測(cè)試探針包括由導(dǎo)電材料制成的針筒、連接于所述針筒一端的第一針頭、和連接于所述針筒另一端的第二針頭，所述測(cè)試探針還包括為針頭活動(dòng)提供彈力的非螺旋形彈性體，所述彈性體裝設(shè)在所述針筒內(nèi)，所述第一針頭的內(nèi)端可活動(dòng)地插設(shè)在所述針筒內(nèi)，所述第一針頭的外端伸出到所述針筒外，所述第一針頭的內(nèi)端與所述彈性體的一端抵接。

優(yōu)選地，所述彈性體由導(dǎo)電或不導(dǎo)電的硅膠制成。

優(yōu)選地，所述彈性體包括沿所述針筒軸向排列的多個(gè)單體。

優(yōu)選地，所述單體的形狀為球狀或柱狀。

優(yōu)選地，所述彈性體為單一的長(zhǎng)條柱狀。

優(yōu)選地，所述第二針頭的內(nèi)端可活動(dòng)地插設(shè)在所述針筒內(nèi)，所述第二針頭的外端伸出到所述針筒外，所述第二針頭的內(nèi)端與所述彈性體的另一端抵接。

優(yōu)選地，所述第二針頭與所述針筒一體成型制成。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明還提供一種集成電路測(cè)試裝置，包括壓緊機(jī)構(gòu)、探針組件、以及用于放置待測(cè)集成電路的限位框，所述探針組件包括安裝塊及安裝在所述安裝塊上的多個(gè)前述的測(cè)試探針，所述測(cè)試探針的下端用于與測(cè)試用印制電路板導(dǎo)電接觸，所述限位框設(shè)于所述探針組件上側(cè)，所述壓緊機(jī)構(gòu)設(shè)于所述限位框的上方以用于壓緊待測(cè)集成電路使待測(cè)集成電路的引腳與對(duì)應(yīng)的測(cè)試探針導(dǎo)電接觸。

本發(fā)明集成電路測(cè)試裝置及其測(cè)試探針，通過將測(cè)試探針中提供彈力的元件由現(xiàn)有的導(dǎo)電彈簧換成非螺旋形彈性體，減小了測(cè)試探針的自感，極大地提高測(cè)試探針通過高頻信號(hào)的能力，并且降低了制作成本和集成電路測(cè)試裝置的設(shè)計(jì)難度，實(shí)現(xiàn)低成本的方式來對(duì)高頻信號(hào)進(jìn)行有效測(cè)試。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有集成電路測(cè)試裝置中慣用探針的組裝示意圖。

圖2為圖1所示慣用探針的剖視圖。

圖3為圖1所示慣用探針的分解圖。

圖4為本發(fā)明集成電路測(cè)試裝置的測(cè)試探針一實(shí)施例的組裝示意圖。