[發明專利]靶坯的加工方法有效
| 申請號： | 201710183223.X | 申請日： | 2017-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN108620815B | 公開（公告）日： | 2019-09-06 |
| 發明（設計）人： | 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;徐禮升 | 申請（專利權）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類號： | B23P15/00 | 分類號： | B23P15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 吳敏 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 濺射面 車削加工 焊接面 中心孔 刀具 中心處 加工 刀尖 側面 凹陷 崩刃 弧面 心孔 破損 指向 | ||
1.一種靶坯的加工方法，其特征在于，包括：
提供材料為鈦的初始靶坯，所述初始靶坯包括第一焊接面、與所述第一焊接面相對的濺射面、以及位于所述第一焊接面與所述濺射面之間的側面；
對所述濺射面進行第一車削加工，在所述濺射面中心處形成中心孔；
沿所述中心孔指向所述側面的方向，對所述濺射面進行第二車削加工，使所述濺射面為向所述第一焊接面凹陷的弧面。
2.如權利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述初始靶坯的形狀為圓柱體；
在所述第二車削加工后，所述濺射面為向所述焊接面凹陷的圓弧面。
3.如權利要求2所述的靶坯的加工方法，其特征在于，在所述第二車削加工后，所述濺射面的弧半徑是2301毫米至2303毫米。
4.如權利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，在所述第二車削加工后，所述濺射面的弧面深度為4.64毫米至4.84毫米。
5.如權利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，采用10毫米鉆頭對所述濺射面進行第一車削加工；
所述第一車削加工的參數包括：所述初始靶坯的轉速為150轉/分鐘至200轉/分鐘，所述第一車削加工的進給量為0.015毫米/轉至0.065毫米/轉。
6.如權利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，所述中心孔的深度為4毫米至4.5毫米。
7.如權利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，對所述濺射面進行第二車削加工的步驟包括：對所述濺射面進行粗車加工；在所述粗車加工后，對所述濺射面進行精車加工。
8.如權利要求7所述的靶坯的加工方法，其特征在于，采用80度內圓開粗刀，對所述濺射面進行粗車加工；
所述粗車加工的參數包括：切削速度為15毫米/分鐘至25毫米/每分鐘，吃刀量為0.45毫米至0.55毫米，所述初始靶坯的轉速為200轉/分鐘至300轉/分鐘。
9.如權利要求7所述的靶坯的加工方法，其特征在于，采用80度內圓開粗刀，對所述濺射面進行精車加工；
所述精車加工的參數包括：切削速度為15毫米/分鐘至25毫米/每分鐘，吃刀量為0.05毫米至0.15毫米，所述初始靶坯的轉速為200轉/分鐘至300轉/分鐘。
10.如權利要求1所述的靶坯的加工方法，其特征在于，對所述濺射面進行第一車削加工之前，所述加工方法還包括：提供背板，所述背板具有第二焊接面；將所述第一焊接面和第二焊接面相對設置并貼合，通過焊接工藝將所述初始靶坯焊接于所述背板上；
對所述濺射面進行第二車削加工后，所述初始靶坯作為靶坯，所述靶坯與所述背板構成靶材組件。
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