[發明專利]波長移相中基于FAST?ICA算法的超薄平板干涉信號分離處理方法在審
| 申請號： | 201710180047.4 | 申請日： | 2017-03-24 |
| 公開（公告）號： | CN107024186A | 公開（公告）日： | 2017-08-08 |
| 發明（設計）人： | 孫濤;董焰章;于瀛潔;牟柯冰 | 申請（專利權）人： | 上海大學 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24;G01B9/02;G06F17/16 |
| 代理公司： | 上海上大專利事務所(普通合伙)31205 | 代理人： | 陸聰明 |
| 地址： | 200444*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 波長 相中 基于 fast ica 算法 超薄 平板 干涉 信號 分離 處理 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種波長移相中基于FAST-ICA算法的超薄平板干涉信號分離處理方法，其特征在于，由以下步驟實現：
步驟一：波長移相干涉儀通過波長調諧測量超薄平行平板，得到包含前后表面面形信息的一系列波長移相干涉圖；
步驟二：根據像素列出時域序列干涉信號，對序列干涉信號去均值化：首先求出干涉信號的均值，然后將干涉信號減去均值，得到去均值化后的干涉信號；
步驟三：利用白化矩陣將均值化后的干涉信號進行白化；
步驟四：根據獨立分量提取算法，利用分離矩陣處理白化后的去均值信號；
步驟五：判斷是否收斂：如果收斂，則分離矩陣已最優，即得到待分離的前后表面干涉信號，執行第六步；如果不收斂，則分離矩陣不是最優，需要重新優化分離矩陣，再返回第四步；
步驟六：將分離后的前后表面干涉信號利用時域移相算法，計算求解得到前后表面面形。
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