[發明專利]一種多腔室間氣氛隔離裝置及方法

在審

• 申請號: 201710179599.3
• 申請日: 2017-03-23
• 公開（公告）號: CN108624858A
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 蘭立廣
• 申請（專利權）人: 北京創昱科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C16/455;C23C16/54
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 湯財寶

1.一種多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：包括第一反應腔室和第二反應腔室，所述第一反應腔室與所述第二反應腔室之間設有隔離間室，所述隔離間室內設有第一隔離墻和第二隔離墻；

所述第一隔離墻和第二隔離墻共同圍成進氣腔，所述第一隔離墻與所述第一反應腔室的側壁共同形成第一隔離腔，所述第二隔離墻與所述第二反應腔室的側壁共同形成第二隔離腔；

所述第一隔離墻的頂部設有連通所述進氣腔和所述第一隔離腔的第一進氣狹縫，所述第二隔離墻的頂部設有連通所述進氣腔和所述第二隔離腔的第二進氣狹縫；

所述第一反應腔室的側壁底部設有連通所述第一反應腔室和第一隔離腔的第一排氣狹縫，所述第二反應腔室的側壁底部設有連通所述第二反應腔室和第二隔離腔的第二排氣狹縫；

所述第一隔離腔和第二隔離腔的底部分別設有第一出氣口和第二出氣口，用于連接抽氣裝置；所述進氣腔連接有進氣口，用于連接充氣裝置。

2.根據權利要求1所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述進氣口處設有氣體流量計。

3.根據權利要求1所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述第一反應腔室與所述第二反應腔室并列設置，所述第一隔離墻與所述第二隔離墻設置于所述第一反應腔室與所述第二反應腔室相鄰的兩個側壁之間，且所述第一隔離墻和所述第二隔離墻平行。

4.根據權利要求3所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述第一隔離腔、第二隔離腔以及進氣腔的體積相同。

5.根據權利要求1所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述進氣口設于所述進氣腔的底部。

6.根據權利要求1所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述進氣腔內通入的氣體為惰性氣體。

7.根據權利要求1所述的多腔室間氣氛隔離裝置，其特征在于：所述多腔室間氣氛隔離裝置采用鋁合金或不銹鋼材料制成。

8.一種如權利要求1-7任一項所述的多腔室間氣氛隔離裝置的氣氛隔離方法，其特征在于，包括以下步驟：

S1，由進氣腔內通入流量為L1惰性氣體，并填充入第一隔離腔及第二隔離腔；

S2，分部通過第一反應腔室和第二反應腔室的工藝氣體氣路向反應腔室內通入惰性氣體，并且由第一出氣口處的第一抽氣裝置及第二出氣口處的第二抽氣裝置進行抽氣，將進氣口通入的惰性氣體、反應腔室的惰性氣體及空氣抽出；

S3，調節第一抽氣裝置的抽氣流量E1及第二抽氣裝置抽氣流量E2，使第一反應腔室及第二反應腔室達到設定的壓強P1，P2；

S4，向第一反應腔室及第二反應腔室通入工藝氣體，進行工藝反應，隨著工藝的進行產生工藝尾氣，第一反應腔室的工藝尾氣經由第一進氣狹縫與進氣腔內通入的惰性氣體混合經由第一抽氣裝置抽出；第二反應腔室的工藝尾氣經由第二進氣狹縫與進氣腔內通入的惰性氣體混合經由第二抽氣裝置抽出。

9.根據權利要求8所述的氣氛隔離方法，其特征在于：所述步驟S4中：第一抽氣裝置的抽氣流量為第一反應腔室的工藝尾氣流量D1與進氣腔內惰性氣體流量L1的1/2之和；第二抽氣裝置的抽氣流量為第二反應腔室的工藝尾氣流量D2與進氣腔內惰性氣體流量L1的1/2之和。