[發明專利]一種紅外探測器

有效

• 申請號: 201710179513.7
• 申請日: 2017-03-23
• 公開（公告）號: CN108630667B
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發明（設計）人: 陶飛;呂衍秋;張向峰;何英杰;丁佳欣;姚官生;曹先存;李墨;張亮;朱旭波
• 申請（專利權）人: 中國空空導彈研究院
• 主分類號: H01L25/00
• 分類號: H01L25/00;H01L31/09;G01J5/08
• 代理公司: 鄭州睿信知識產權代理有限公司 41119
• 代理人: 陳浩

1.紅外探測器，包括基體以及短波紅外光敏芯片、中波紅外光敏芯片，其特征在于：還包括芯片支架，所述中波紅外光敏芯片設置于基體上，所述短波紅外光敏芯片通過芯片支架設置于所述中波紅外光敏芯片的上方，且所述短波紅外光敏芯片的感光區域與中波紅外光敏芯片的感光區域在上下方向上重疊；所述短波紅外光敏芯片和中波紅外光敏芯片均為長方形片狀結構，兩個芯片呈十字交叉上下間隔設置；處于上方的短波紅外光敏芯片的兩個電極設置于短波紅外光敏芯片的兩端，處于下方的中波紅外光敏芯片的兩個電極設置于中波光敏芯片的同一端；所述短波紅外光敏芯片的感光區域的面積大于中波紅外光敏芯片的感光區域的面積。

2.根據權利要求1所述的紅外探測器，其特征在于：所述芯片支架的材質為陶瓷。

3.根據權利要求1或2所述的紅外探測器，其特征在于：所述短波紅外光敏芯片的上側面和/或下側面上覆蓋有紅外增透膜。

4.根據權利要求1或2所述的紅外探測器，其特征在于：所述中波紅外光敏芯片的上表面上覆蓋有紅外濾光膜。

5.根據權利要求1或2所述的紅外探測器，其特征在于：還包括通過窗口支架設置于短波紅外光敏芯片上方的濾光片。

6.根據權利要求5所述的紅外探測器，其特征在于：所述濾光片的材質為石英。

7.根據權利要求5所述的紅外探測器，其特征在于：所述窗口支架為圓環形的陶瓷支架，所述短波紅外光敏芯片和中波紅外光敏芯片均處于所述陶瓷支架的內部。

8.根據權利要求1或2所述的紅外探測器，其特征在于：所述短波紅外光敏芯片的感光材質為InAs/GaSb二類超晶格，所述中波紅外光敏芯片的感光材質為InAlSb。