[發明專利]顯示基板及其制作方法、顯示裝置在審
| 申請號: | 201710177835.8 | 申請日: | 2017-03-23 |
| 公開(公告)號: | CN106898577A | 公開(公告)日: | 2017-06-27 |
| 發明(設計)人: | 劉珠林;汪銳;王孝林;付鵬程;蔣日坤;鄧鳴 | 申請(專利權)人: | 京東方科技集團股份有限公司;重慶京東方光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/84 | 分類號: | H01L21/84;H01L27/12;G02F1/1362 |
| 代理公司: | 北京銀龍知識產權代理有限公司11243 | 代理人: | 劉偉,張博 |
| 地址: | 100015 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 顯示 及其 制作方法 顯示裝置 | ||
1.一種顯示基板的制作方法,包括在襯底基板上形成公共電極線的步驟,其特征在于,形成所述公共電極線的步驟包括:
形成延伸方向相同的透明導電圖形和金屬圖形,所述透明導電圖形與所述金屬圖形相接觸組成至少部分所述公共電極線,所述透明導電圖形在所述襯底基板上的正投影具有超出所述金屬圖形在所述襯底基板上的正投影的部分。
2.根據權利要求1所述的顯示基板的制作方法,其特征在于,形成所述透明導電圖形和所述金屬圖形包括:
在所述襯底基板上依次形成所述透明導電圖形和所述金屬圖形,所述透明導電圖形在所述襯底基板上的正投影與所述金屬圖形在所述襯底基板上的正投影部分重合;或
在所述襯底基板上依次形成所述金屬圖形和所述透明導電圖形,所述透明導電圖形在所述襯底基板上的正投影與所述金屬圖形在所述襯底基板上的正投影部分重合。
3.根據權利要求1所述的顯示基板的制作方法,其特征在于,形成所述透明導電圖形和所述金屬圖形包括:
通過一次構圖工藝同時形成所述透明導電圖形和所述金屬圖形,所述金屬圖形在所述襯底基板上的正投影完全落入所述透明導電圖形在所述襯底基板上的正投影內。
4.根據權利要求3所述的顯示基板的制作方法,其特征在于,所述通過一次構圖工藝同時形成所述透明導電圖形和所述金屬圖形包括:
依次形成透明導電層和金屬層;
在所述金屬層上涂覆光刻膠,利用半色調掩膜板或灰色調掩膜板對所述光刻膠進行曝光,顯影后形成光刻膠完全保留區域、光刻膠部分保留區域和光刻膠未保留區域;
刻蝕掉光刻膠未保留區域的透明導電層和金屬層,形成所述透明導電圖形;
去除光刻膠部分保留區域的光刻膠;
刻蝕掉光刻膠部分保留區域的金屬層,形成所述金屬圖形;
去除光刻膠完全保留區域的光刻膠。
5.根據權利要求3所述的顯示基板的制作方法,其特征在于,所述顯示基板還包括薄膜晶體管的柵極和柵線,在形成所述透明導電圖形和所述金屬圖形的同一次構圖工藝中,還形成所述薄膜晶體管的柵極和柵線。
6.一種顯示基板,包括位于襯底基板上的公共電極線,其特征在于,
至少部分所述公共電極線由延伸方向相同的透明導電圖形和金屬圖形組成,所述透明導電圖形與所述金屬圖形相接觸,且所述透明導電圖形在所述襯底基板上的正投影具有超出所述金屬圖形在所述襯底基板上的正投影的部分。
7.根據權利要求6所述的顯示基板,其特征在于,
所述公共電極線包括層疊設置的所述透明導電圖形和所述金屬圖形,所述透明導電圖形在所述襯底基板上的正投影與所述金屬圖形在所述襯底基板上的正投影部分重合,所述金屬圖形覆蓋所述透明導電圖形的部分區域;或所述透明導電圖形覆蓋所述金屬圖形的部分區域。
8.根據權利要求6所述的顯示基板,其特征在于,
所述公共電極線包括所述金屬圖形和覆蓋所述金屬圖形的所述透明導電圖形,所述金屬圖形在所述襯底基板上的正投影完全落入所述透明導電圖形在所述襯底基板上的正投影內;或
所述公共電極線包括所述透明導電圖形和位于所述透明導電圖形上的所述金屬圖形,所述金屬圖形在所述襯底基板上的正投影完全落入所述透明導電圖形在所述襯底基板上的正投影內。
9.根據權利要求6所述的顯示基板,其特征在于,所述公共電極線包括并排設置的所述金屬圖形和所述透明導電圖形。
10.一種顯示裝置,其特征在于,包括如權利要求6-9中任一項所述的顯示基板。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





