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[發明專利]高靈敏度緊湊M-Z干涉溫度傳感器及其制作方法有效

專利信息
申請號: 201710176913.2 申請日: 2017-03-23
公開(公告)號: CN106959172B 公開(公告)日: 2019-09-24
發明(設計)人: 鄧明;趙勇 申請(專利權)人: 重慶大學
主分類號: G01K11/32 分類號: G01K11/32
代理公司: 重慶樂泰知識產權代理事務所(普通合伙) 50221 代理人: 劉佳
地址: 400030 *** 國省代碼: 重慶;50
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 靈敏度 緊湊 干涉 溫度傳感器 及其 制作方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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