[發明專利]顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法

在審

• 申請號: 201710173572.3
• 申請日: 2017-03-22
• 公開（公告）號: CN108623052A
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發明（設計）人: 黃志銘;周圣原;張景棠
• 申請（專利權）人: 三福化工股份有限公司
• 主分類號: C02F9/06
• 分類號: C02F9/06;C02F9/10;C07C209/86;C07C211/63
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 張秋越

1.一種顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，至少包含以下步驟：

一收集步驟，是收集一顯影廢液進行四甲基氫氧化銨回收后所產生的二次廢液；

一第一調整步驟，以酸液調整該二次廢液的酸堿值，使其pH值≤7，而使得該二次廢液中的四甲基氫氧化銨離子與酸液形成四甲基銨鹽水溶液，并使得廢光阻不溶于該二次廢液中；

一過濾步驟，將調整過酸堿值的該二次廢液進行過濾，以過濾出不溶于該二次廢液的廢光阻，而得到一不含有廢光阻的四甲基銨鹽水溶液；

一純化步驟，以一樹脂塔純化該四甲基銨鹽水溶液中所含有的金屬離子，而得到一不含有金屬離子的四甲基銨鹽水溶液；

一電解透析步驟，使不含有金屬離子的該四甲基銨鹽水溶液中的四甲基銨離子與相對離子分離而轉化成四甲基氫氧化銨，而得到一四甲基氫氧化銨水溶液；及

一濃度調配步驟，使該四甲基氫氧化銨水溶液的濃度在2wt%至25wt%之間。

2.根據權利要求1所述顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，還包含一接續該過濾步驟之后的第二調整步驟，是以堿液調整該四甲基銨鹽水溶液的酸堿值，使其pH值≥6。

3.根據權利要求2所述顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，還包含一在該純化步驟之前或之后的蒸餾步驟，是以減壓蒸餾的方式將四甲基銨鹽水溶液之水分去除，得到濃度較高的四甲基銨鹽水溶液。

4.根據權利要求1所述顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，該酸液是鹽酸、硫酸、硝酸、甲酸、醋酸、磷酸、碳酸之一或其組合。

5.根據權利要求1所述顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，該過濾步驟是以一過濾器進行過濾，該過濾器是傳統濾心式過濾器、燭臺式過濾器、離心式過濾器或薄膜式過濾器。

6.根據權利要求1所述顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，該純化步驟的樹脂塔是磺酸型的強陽性樹脂、羧酸型的弱陽性樹脂或硝酸型樹脂的其中之一或其組合。

7.根據權利要求2所述顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，該堿液是無機堿，并選自于氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鋰、氫氧化銨及氫氧化四級銨的水溶液的其中之一或其組合。

8.根據權利要求1所述顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，該第一調整步驟是以酸液調整該二次廢液的酸堿值，使其pH值＜6。

9.根據權利要求1所述顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，該電解透析步驟中是使用隔膜式電解槽，工作單位電流量為10~30Amp/dm²，電解反應溫度控制于20~60℃中，電解槽電壓為5~20V。

10.根據權利要求9所述顯影廢液的二次廢液中四甲基氫氧化銨的回收方法，其特征在于，該隔膜式電解槽的電解透析膜是使用陽離子交換膜。