[發明專利]堇青石質燒結體、其制法及復合基板

有效

• 申請號: 201710172464.4
• 申請日: 2017-03-22
• 公開（公告）號: CN107226692B
• 公開（公告）日: 2021-12-03
• 發明（設計）人: 磯田佳范;鈴木能大;井上勝弘;勝田祐司
• 申請（專利權）人: 日本礙子株式會社
• 主分類號: C04B35/195
• 分類號: C04B35/195;C04B35/645;H01P7/00
• 代理公司: 北京旭知行專利代理事務所(普通合伙) 11432
• 代理人: 王軼;鄭雪娜

1.一種堇青石質燒結體，其以堇青石為主成分，且主成分以外僅包含氮化硅或碳化硅，其特征在于，

在包含氮化硅的情況下，利用SEM對研磨面實施背散射電子圖像觀察及組成分析，由圖像的對比度的比值求出堇青石相與氮化硅相的面積比率，以該面積比率為燒結體的體積比率時，堇青石相為60～90體積％，氮化硅相為10～40體積％，

在包含碳化硅的情況下，利用SEM對研磨面實施背散射電子圖像觀察及組成分析，由圖像的對比度的比值求出堇青石相與碳化硅相的面積比率，以該面積比率為燒結體的體積比率時，堇青石相為70～90體積％，碳化硅相為10～30體積％

所述堇青石質燒結體：

40～400℃下的熱膨脹系數低于2.4ppm/℃，

開口氣孔率為0.5％以下，

平均結晶粒徑為1μm以下，

楊氏模量為160GPa以上，

4點彎曲強度為220MPa以上，

研磨面的中心平均粗糙度Ra為1.5nm以下。

2.根據權利要求1所述的堇青石質燒結體，其特征在于，所述堇青石質燒結體：

研磨面的每100μm×100μm面積中存在的最大長度1μm以上的氣孔的數量為10個以下。

3.一種堇青石質燒結體的制法，其包括以下工序：

(a)將平均粒徑0.1～1μm的堇青石粉末60～90體積％和平均粒徑0.1～1μm的氮化硅粉末10～40體積％按合計為100體積％進行混合，得到混合原料粉末；或者，將平均粒徑0.1～1μm的堇青石粉末70～90體積％和平均粒徑0.1～1μm的碳化硅粉末10～30體積％按合計為100體積％進行混合，得到混合原料粉末；

(b)將所述混合原料粉末成型為規定形狀的成型體，將所述成型體以壓制壓力20～300kgf/cm²、燒成溫度1350～1450℃進行熱壓燒成，由此，得到堇青石質燒結體。

4.一種復合基板，其是將功能性基板和支撐基板接合而得到的復合基板，其中，

所述支撐基板為權利要求1或2所述的堇青石質燒結體。