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[發明專利]太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前清潔降溫裝置有效

專利信息
申請號: 201710167725.3 申請日: 2017-03-20
公開(公告)號: CN106784168B 公開(公告)日: 2018-01-26
發明(設計)人: 孫鐵囤;姚偉忠;湯平 申請(專利權)人: 常州億晶光電科技有限公司
主分類號: H01L31/18 分類號: H01L31/18;H01L21/677
代理公司: 常州市英諾創信專利代理事務所(普通合伙)32258 代理人: 鄭云
地址: 213000 江蘇*** 國省代碼: 江蘇;32
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摘要:
搜索關鍵詞: 太陽能電池 制備 工藝 硅片 印刷 清潔 降溫 裝置
【權利要求書】:

1.一種太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前清潔降溫裝置,其特征在于:包括第一皮帶輸送裝置(1)及第二皮帶輸送裝置(2),所述第一皮帶輸送裝置(1)與第二皮帶輸送裝置(2)之間設置有支架(3),所述支架(3)的頂端設置有平臺(4),所述平臺(4)上轉動連接有轉盤(5),所述平臺(4)的下表面固定有電機(6),所述電機(6)的輸出端與轉盤(5)固定連接,所述轉盤(5)的下表面對稱設置有第一氣缸(7)和第二氣缸(8),所述第一氣缸(7)及第二氣缸(8)的伸出端朝下,所述第一氣缸(7)及第二氣缸(8)的伸出端上均固定有回轉氣缸(9),所述回轉氣缸(9)的輸出端上固定有支桿(10),所述支桿(10)的下表面固定有若干吸盤(11),所述轉盤(5)上固定有氣泵(16),所述氣泵(16)與吸盤(11)連通,所述支架(3)的側方固定有風扇(17)。

2.根據權利要求1所述的太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前清潔降溫裝置,其特征在于:所述電機(6)為步進電機。

3.根據權利要求1所述的太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前清潔降溫裝置,其特征在于:所述風扇(17)的出風風向與水平方向一致。

4.根據權利要求1所述的太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前清潔降溫裝置,其特征在于:所述第一皮帶輸送裝置(1)和第二皮帶輸送裝置(2)的輸送方向一致。

5.根據權利要求1所述的太陽能電池片制備工藝中硅片印刷前清潔降溫裝置,其特征在于:所述第一皮帶輸送裝置(1)和第二皮帶輸送裝置(2)均包括驅動電機、皮帶(13)、主動輪(14)及從動輪(15),所述主動輪(14)與從動輪(15)之間通過皮帶(13)傳動連接,所述驅動電機的輸出端與主動輪(14)傳動連接。

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