[發明專利]基于單晶硅差壓傳感器的靜力水準儀

有效

• 申請號: 201710166543.4
• 申請日: 2017-03-20
• 公開（公告）號: CN106969746B
• 公開（公告）日: 2023-04-07
• 發明（設計）人: 王恒
• 申請（專利權）人: 星展測控科技股份有限公司
• 主分類號: G01C5/04
• 分類號: G01C5/04
• 代理公司: 深圳中一聯合知識產權代理有限公司 44414
• 代理人: 李艷麗

1.一種基于單晶硅差壓傳感器的靜力水準儀，包括上外殼（1）、下外殼（2）和膜盒式單晶硅差壓傳感器（3），所述上外殼（1）和下外殼（2）通過螺柱固定連接之后圍成封閉的安裝腔（4）；

所述安裝腔（4）被所述上外殼（1）內部側壁上的第一凸起部（6）和所述下外殼（2）內部側壁上的第二凸起部（7）隔成相互連通的右安裝腔（41）和左安裝腔（42），所述第一凸起部（6）和第二凸起部（7）相對設置；

所述膜盒式單晶硅差壓傳感器（3）的主體（31）固定安裝在右安裝腔（41）中，所述膜盒式單晶硅差壓傳感器（3）的尾部（32）位于所述左安裝腔（42）中，所述膜盒式單晶硅差壓傳感器（3）將右安裝腔（41）分隔成互相獨立的液腔（43）和氣腔（44），并將所述左安裝腔（42）與所述右安裝腔（41）隔離成互不連通的獨立腔室；

所述液腔（43）位于靠近所述上外殼（1）一側，所述氣腔（44）位于靠近所述下外殼（2）一側；

所述上外殼（1）的側壁上開設有與所述液腔（43）連通的進液口（11），所述下外殼（2）的側壁上開設有與所述氣腔（44）連通的進氣口（21）；

所述上外殼（1）上還設有視窗（15），所述視窗（15）處安裝有與所述視窗（15）形狀匹配的透明的有機玻璃（16）；

所述有機玻璃（16）和所述視窗（15）之間設有第一密封圈膜盒式單晶硅差壓傳感器（3）的H端與所述有機玻璃（16）之間依次設有第二密封圈（162）和圓環狀的頂環（17），所述頂環（17）上具有通孔，該通孔與上外殼（1）上的排氣孔（13）相互連通；

所述液腔（43）通過依次相互壓緊的膜盒式單晶硅差壓傳感器（3）的H端、第二密封圈（162）、頂環（17）、有機玻璃（16）、第一密封圈（161）、視窗（15）實現密封；

所述下外殼（2）與所述膜盒式單晶硅差壓傳感器（3）的L端之間設有第三密封圈（163），所述氣腔（44）通過依次相互壓緊的下外殼（2）、第三密封圈（163）、膜盒式單晶硅差壓傳感器（3）的L端實現密封；

靜力水準儀中還包括電路板（5），所述電路板與膜盒式單晶硅差壓傳感器（3）的尾部（32）連接。

2.根據權利要求1所述的靜力水準儀，其特征在于，所述膜盒式單晶硅差壓傳感器（3）的H端壓力膜片（33）與所述液腔（43）充分接觸用于感受液腔（43）內的壓力，L端壓力膜片（34）與所述氣腔（44）充分接觸用于感受氣腔（44）內的壓力。

3.根據權利要求1或2所述的靜力水準儀，其特征在于，所述上外殼（1）上還設置有排氣孔（13），所述排氣孔（13）與所述液腔（43）連通，用于排出液腔（43）中的氣泡。

4.根據權利要求3所述的靜力水準儀，其特征在于，所述排氣孔（13）用球頭頂絲（14）進行密封。

5.根據權利要求1所述的靜力水準儀，其特征在于，所述上外殼（1）內側的四個角位置均設有一個螺紋盲孔（18）；

所述下外殼（2）的四個角位置均具有一個階梯狀的螺紋通孔（24），所述螺紋通孔（24）內側直徑較小且與所述螺紋盲孔（18）直徑一致，用于安裝固定螺柱，連接緊固上外殼（1）和下外殼（2）；

所述螺紋通孔（24）外側孔徑較大，用于將靜力水準儀固定在測量點。

6.根據權利要求1所述的靜力水準儀，其特征在于，所述下外殼（2）的進液口（21）相對側壁上開設有出線孔（23），所述出線孔（23）為不銹鋼防水過線孔，用于連接信息采集設備的電纜線。

7.根據權利要求1所述的靜力水準儀，其特征在于，所述液腔（43）的內壁上涂有防銹油層。

8.一種包括權利要求1-7任一項所述的靜力水準儀的靜力水準測量系統。