[發(fā)明專利]一種半反半透型偏振分束光柵

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710166379.7
• 申請(qǐng)日: 2017-03-20
• 公開（公告）號(hào): CN106918856B
• 公開（公告）日: 2019-03-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董亭亭;陳馳;熊濤;耿安兵;楊曉燕
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 華中光電技術(shù)研究所（中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七一七研究所）
• 主分類號(hào): G02B5/18
• 分類號(hào): G02B5/18;G02B27/28
• 代理公司: 武漢凌達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(特殊普通合伙) 42221
• 代理人: 劉念濤;宋國(guó)榮

1.一種半反半透型偏振分束光柵，其特征在于：

該光柵的歸一化周期Λ/λ與入射角θ滿足如下關(guān)系

，其中，θ為入射角，λ為波長(zhǎng)，Λ為周期，n₁為基底材料折射率，n₂為空氣折射率；

該光柵的TE波能量分配在反射零級(jí)衍射級(jí)次上，TM波能量分配在透射零級(jí)衍射級(jí)次上，入射波由光密介質(zhì)入射到光疏介質(zhì)，即n₁>n₂，且透射+1級(jí)衍射處于倏逝臨界位置，即θ_t,+1=90°；

該光柵以硅為基底材料，當(dāng)中紅外波長(zhǎng)λ為=3～5μm，入射角θ=22～26°范圍時(shí)，周期Λ為=1.97～2.14μm，占空比f=0.60～0.62，蝕刻深度h=2.2～2.4μm。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半反半透型偏振分束光柵，其特征在于，當(dāng)中紅外波長(zhǎng)λ為=4μm，入射角θ=23.84°時(shí)，周期Λ為=2.121μm，占空比f=0.609，蝕刻深度h=2.217μm。