[發明專利]一種抽高真空的方法

有效

• 申請號: 201710164714.X
• 申請日: 2017-03-20
• 公開（公告）號: CN106949372B
• 公開（公告）日: 2019-04-30
• 發明（設計）人: 明長友;鄒波;羅敏;蘇思良;鄒琴
• 申請（專利權）人: 成都科瑞爾低溫設備有限公司
• 主分類號: F17C1/12
• 分類號: F17C1/12;F17C13/00
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 韓雪

1.一種抽高真空的方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟一、將被抽產品安裝在抽真空機組上，對被抽產品進行抽低真空，使得真空度達到0～10pa，再對被抽產品進行內、外加熱；

步驟二、對被抽產品充入溫度為70～130℃的高純熱氮氣，對充入氮氣后的被抽產品進行內、外表面及夾層加熱至130～180℃，充分熱透，進行第一次悶氣；

步驟三、第一次預抽低真空：對被抽產品進行排氣，使得被抽產品真空度達到0～10pa，排氣時間為70～130min；

步驟四、按照步驟二充入溫度為70～130℃的高純熱氮氣，對充入氮氣后的被抽產品進行內、外表面及夾層加熱至130～180℃，充分熱透，進行第二次悶氣，悶氣時間為40～70min；

步驟五、對被抽產品進行第二次預抽低真空排氣，排氣時間為40min～80min；

步驟六、按照步驟二充入溫度為70～130℃的高純熱氮氣，按照步驟四的方法進行第三次悶氣，并按照步驟五排氣；

步驟七、按照步驟二充入溫度為70～130℃的高純熱氮氣，按照步驟四的方法進行第四次悶氣，悶氣時間為3～6小時，并按照步驟五排氣，排氣時間100～150min；

步驟八、對被抽真空產品用高真空泵抽高真空，在抽真空時間為4～6小時后，當抽真空機組的主管路末端熱態的真空度P＜5Pa時，開始6～9次間斷抽真空，達到所需的高真空；間斷抽真空方法：第一次、第二次抽高真空，采用停抽6～9h，抽氣2～7h循環；第3次、第4次停抽6～12h，抽3～6h循環;第5次停抽11～15h，再抽2～6h;

第6次停抽14～24h，再抽2～6h，開始第一次測量靜置前被抽產品真空度；

第7次停抽14～24h，完成后開始第一次測量靜置后被抽產品極限真空度，完成后繼續抽空5～8h，開始第二次測量靜置前被抽產品真空度；

第8次停抽14～24h，開始第二次測量靜置后被抽產品極限真空度；

根據測量值，計算出熱態時的漏放氣速率，連續兩次計算值應≤5×10^-5Pa·m³/S，其中靜態被抽產品極限真空度P1＇應≤5Pa，再靜置14～24h后測量出夾層的真空度P2＇；

若前兩次漏放氣速率的測量計算值大于5×10^-5Pa·m³/S時，則進行第三次檢量計算，其中對最差的一件產品，要求熱態下的漏放氣速率應＜9×10^-5Pa·m³/S，其中靜態瞬間極限真空度P1＇應≤5Pa，同時要求相鄰兩次漏放氣速率的差值△Q≤2×10^-5Pa·m³/S，再抽高真空2～5h后，停止內、外加熱并快速降溫，至內、外表面溫度低于80℃后，最后抽高真空2～3h后逐一間斷壓下各臺被抽產品的封結閥芯對被抽產品進行封結。

2.根據權利要求1所述的抽高真空的方法，其特征在于，在步驟一中抽低真空后，進行氦質譜檢漏，撿漏合格后，再對被抽產品進行內、外加熱；在步驟二中，充入高純熱氮氣在8～15min內完成，在充氣過程中，當被抽產品內的壓強略大于外界壓強時，停止充氣。

3.根據權利要求1所述的抽高真空的方法，其特征在于，在步驟二中第一次悶氣時間為12～18h。

4.根據權利要求1所述的抽高真空的方法，其特征在于，在步驟七排氣結束后，可按高真空泵的工作條件，提前1h開啟高真空泵，備用。

5.根據權利要求1所述的抽高真空的方法，其特征在于，在步驟八對被抽真空產品抽真空前，先使得與被抽真空產品連接的主管末端的真空度小于10pa，再開啟高真空泵。

6.根據權利要求1所述的抽高真空的方法，其特征在于，若通過測量及計算，被抽產品的極限真空度和夾層漏放氣速率沒能達到檢量計算的要求，應繼續對該機組上的所有被抽產品再抽高真空3h；并再靜置14～24h后再次測量和計算漏放氣速率，直到測量和計算結果達到檢量計算的要求后，才能對產品進行封結。