[發(fā)明專利]一種ZnO納米墻RGO異質(zhì)結(jié)光電氣敏傳感器及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710164282.2
• 申請(qǐng)日: 2017-03-20
• 公開（公告）號(hào): CN106932442B
• 公開（公告）日: 2019-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 于靈敏;郭芬;劉宗媛;李春;馬海寧;袁雄;范新會(huì)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N27/04
• 分類號(hào): G01N27/04
• 代理公司: 西安新思維專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 61114
• 代理人: 黃秦芳

1.一種ZnO納米墻RGO異質(zhì)結(jié)光電氣敏傳感器的制備方法，其特征在于：所述的制備方法包括以下步驟：

1）多孔還原石墨烯的制備

稱取2-8mg的多孔石墨烯粉末，將其與10ml的DMF混合，配制成濃度為0.2-0.8mg/ml多孔石墨烯-DMF懸浮液，之后把上述懸浮液用多層保鮮膜密封，在室溫下不連續(xù)超聲處理72h，得到多孔石墨烯分散液，經(jīng)24h靜置，通過轉(zhuǎn)速為4000r/min進(jìn)行離心處理，然后吸取上層液體于潔凈玻璃瓶中，得多孔石墨烯分散液；將Ag叉指電極分別在丙酮，無水乙醇，去離子水中進(jìn)行超聲清洗，然后放入溫度為110℃的干燥箱中預(yù)熱處理1h；取1ml已配置好的多孔石墨烯分散液，利用噴嘴直徑為0.2mm的噴槍噴涂在經(jīng)過預(yù)處理的Ag叉指電極表面，然后在110℃下干燥處理，將干燥好的Ag叉指電極在通入Ar保護(hù)氣的條件下，450℃進(jìn)行熱處理0.5h；

2）在RGO表面原位生長ZnO種子層

將摩爾比為1:1的Zn(CH₃COO)₂·2H₂O 和Al(NO₃)₃.9H₂O與乙醇在室溫條件下混合，使Zn²⁺濃度為0.2mol/L，放在水浴鍋中，用磁力攪拌器在70℃下加熱攪拌1h，得到均勻的溶液，將步驟1）熱處理后的Ag叉指電極利用SYDC-100浸漬提拉機(jī)進(jìn)行提拉，提拉速度為6000μm/s，浸漬時(shí)間為30s，然后在80℃下干燥10min；反復(fù)提拉4次；然后在通有Ar氣保護(hù)的氣氛熱處理程控高溫爐中400℃下熱處理30min，得到ZnO種子層/RGO復(fù)合薄膜；

3）在RGO表面原位生長ZnO納米墻

將Zn(NO₃)₂6H₂O與(CH₃)₆N₄按摩爾比為1:1配制成0.05mol/L的溶液，70℃加熱攪拌1h，當(dāng)溶液中開始出現(xiàn)渾濁后，停止攪拌，將溶液倒入水熱反應(yīng)釜的聚四氟乙烯內(nèi)膽中，并將步驟2）得到的ZnO種子層/RGO復(fù)合薄膜垂直插入其中，80℃恒溫生長5h；取出后用去離子水沖洗并干燥，最后在通有Ar氣保護(hù)的氣氛熱處理程控高溫爐中450℃下熱處理1 h，在Ag叉指電極表面得到ZnO納米墻/RGO薄膜；

4）老化制得成品：

將步驟3）得到的ZnO納米墻/RGO薄膜放在CGS-1TP智能氣敏分析系統(tǒng)控溫臺(tái)樣品區(qū)，調(diào)節(jié)兩探針，使其與電極片的兩端接觸，室溫時(shí)，在照射功率100%的365nm波段光光照條件下進(jìn)行老化，老化時(shí)間為1.5h。

2.如權(quán)利要求1所述的制備方法制得的ZnO納米墻RGO異質(zhì)結(jié)光電氣敏傳感器。