[發(fā)明專利]制備垂直有機(jī)場效應(yīng)晶體管的方法及垂直有機(jī)場效應(yīng)晶體管

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710163841.8
• 申請日: 2017-02-03
• 公開（公告）號: CN107026236B
• 公開（公告）日: 2022-04-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 漢斯·克勒曼;格雷戈?duì)枴な┩叽?/a>
• 申請（專利權(quán)）人: 諾瓦爾德股份有限公司
• 主分類號: H01L51/05
• 分類號: H01L51/05;H01L51/10;H01L51/40
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 楊青;穆德駿

1.一種制備垂直有機(jī)場效應(yīng)晶體管的方法，其中帶有層配置的垂直有機(jī)場效應(yīng)晶體管是制備在襯底上的，所述層配置包含晶體管電極、電絕緣層(25)以及有機(jī)半導(dǎo)體層(28)，晶體管電極也就是第一電極(23；24)、第二電極(23；24)和第三電極(32)，其中該方法包含下述步驟：

-提供襯底(21)，

-在襯底(21)上沉積選擇性粘附層(22)，

-制備垂直有機(jī)場效應(yīng)晶體管的部分層結(jié)構(gòu)(20)，部分層結(jié)構(gòu)(20)包含至少一個晶體管電極(23；24)和至少一個電絕緣層(25)，晶體管電極和電絕緣層在各自的直接接觸區(qū)域(26；27)中粘附至選擇性粘附層(22)，

-通過將至少一種有機(jī)半導(dǎo)體材料粘附沉積在部分層結(jié)構(gòu)(20)上且所述選擇性粘附層(22)阻止所述至少一種有機(jī)半導(dǎo)體材料粘附沉積在所述部分層結(jié)構(gòu)(20)之外，來制備至少一個有機(jī)半導(dǎo)體層(28)；以及

-制備垂直有機(jī)場效應(yīng)晶體管的剩余部分層結(jié)構(gòu)(31)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的方法，其中部分層結(jié)構(gòu)(20)制備有第一電極(23；24)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的方法，其中有機(jī)半導(dǎo)體層(28)粘附沉積在第一電極(23；24)、第二電極(24；23)以及至少一個電絕緣層(25)上。

4.根據(jù)前述權(quán)利要求任一項(xiàng)的方法，其中在制備部分層結(jié)構(gòu)(20)的過程中，至少一個晶體管電極(23；24)和至少一個電絕緣層(25)被結(jié)構(gòu)化。

5.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，其中所實(shí)施的結(jié)構(gòu)化是等離子體-輔助蝕刻，在這種情況下，等離子體應(yīng)用也覆蓋部分層結(jié)構(gòu)(20)外的選擇性粘附層(22)的表面。

6.根據(jù)權(quán)利要求1至3和5中的任一項(xiàng)的方法，其中由所述至少一種有機(jī)半導(dǎo)體材料制成的層在半導(dǎo)體層制備期間沒有被粘附沉積在所述部分層結(jié)構(gòu)之外，并與選擇性粘附層(22)的表面形成大于21±2度的接觸角。

7.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，其中由所述至少一種有機(jī)半導(dǎo)體材料制成的層在半導(dǎo)體層制備期間沒有被粘附沉積在所述部分層結(jié)構(gòu)之外，并與選擇性粘附層(22)的表面形成大于21±2度的接觸角。

8.根據(jù)權(quán)利要求6的方法，其中由所述至少一種有機(jī)半導(dǎo)體材料制成的層被形成為非封閉層。

9.根據(jù)權(quán)利要求7的方法，其中由所述至少一種有機(jī)半導(dǎo)體材料制成的層被形成為非封閉層。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至3、5和7至9中的任一項(xiàng)的方法，其中選擇性粘附層(22)由電絕緣材料制成。

11.根據(jù)權(quán)利要求4的方法，其中選擇性粘附層(22)由電絕緣材料制成。

12.根據(jù)權(quán)利要求6的方法，其中選擇性粘附層(22)由電絕緣材料制成。

13.垂直有機(jī)場效應(yīng)晶體管，其包含襯底(21)上的具有晶體管電極、電絕緣層(25)和由至少一種有機(jī)半導(dǎo)體材料制成的有機(jī)半導(dǎo)體層(28)的層配置，晶體管電極也就是第一電極(23；24)、第二電極(24；23)和第三電極(32)，其中襯底(21)上的層配置被設(shè)置在選擇性粘附層(22)上，選擇性粘附層為晶體管電極和至少一個電絕緣層(25)提供粘附基極層，并且為有機(jī)半導(dǎo)體層(28)提供抗-粘附基極層。