[發(fā)明專利]一種功率器件版圖結(jié)構(gòu)及制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201710163549.6
• 申請日: 2017-03-17
• 公開（公告）號: CN108630677B
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 朱明皓;李瑞鋼
• 申請（專利權(quán)）人: 智瑞佳（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號: H01L27/02
• 分類號: H01L27/02;H01L29/78;H01L21/336;H01L23/373
• 代理公司: 蘇州慧通知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32239
• 代理人: 丁秀華

1.一種功率器件版圖結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于，該制作方法具體實(shí)施步驟為：

（1）生長襯底及外延層，平整表面；

（2）在叉指柵極與柵極電極處淀積柵極金屬并覆蓋氧化層；

（3）在叉指源極和叉指漏極處淀積金屬并覆蓋鈍化層；

（4）在叉指源極處插入若干個通孔并填充金屬；

（5）在柵極電極處與漏極處開窗，露出金屬用于外接引線。

2.權(quán)利要求1所述的功率器件版圖結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于，步驟（4）中的通孔可為激光打孔或蝕刻成孔。

3.權(quán)利要求1或2所述的功率器件版圖結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于，通孔中填充的金屬為良導(dǎo)熱金屬。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的功率器件版圖結(jié)構(gòu)的制作方法獲得的裝置，其特征在于，所述裝置包括柵極電極，位于柵極電極下端的叉指柵極，位于叉指柵極下端的漏極和布置于柵極電極與漏極之間區(qū)域的叉指源極，布于叉指源極處的通孔，各部件之間通過電學(xué)連接；其中，柵極電極用于信號的輸入；漏極用于被器件放大后的輸入信號的流出；叉指柵極用于電流的傳導(dǎo)，器件內(nèi)的電流會流入各個叉指源極；叉指源極的電流通過插入通孔直接流入襯底接地，形成電流通路。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝置，其特征在于，所述通孔中以良導(dǎo)熱金屬填充。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝置，其特征在于，所述良導(dǎo)熱金屬為鎢銅合金。