[發(fā)明專利]靶坯及其加工方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201710159600.6
• 申請(qǐng)日: 2017-03-17
• 公開（公告）號(hào): CN108620813A
• 公開（公告）日: 2018-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學(xué)澤;李力平
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號(hào): B23P15/00
• 分類號(hào): B23P15/00
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 吳敏

本發(fā)明提供一種靶坯及其加工方法，加工方法包括：提供靶坯，靶坯具有濺射面以及與濺射面相對(duì)的焊接面；對(duì)焊接面進(jìn)行機(jī)械加工，在焊接面上形成平面螺紋，平面螺紋的牙型為三角形。本發(fā)明對(duì)靶坯的焊接面進(jìn)行機(jī)械加工，在焊接面上形成平面螺紋且平面螺紋的牙型為三角形；一方面，通過平面螺紋，可以增加焊接面的粗糙度、均勻度以及附著力，另一方面，平面螺紋的牙型為三角形，在將靶坯與背板進(jìn)行焊接時(shí)，可以使平面螺紋嵌入至背板內(nèi)；因此結(jié)合以上兩個(gè)方面，在將靶坯與背板進(jìn)行焊接以形成靶材組件時(shí)，使靶坯和背板之間的焊接強(qiáng)度得到提高，有效防止靶坯和背板之間發(fā)生焊接不良或脫焊的問題，從而提高所形成靶材組件的性能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，尤其涉及一種靶坯及其加工方法。

背景技術(shù)

濺射技術(shù)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的常用工藝之一，隨著濺射技術(shù)的日益發(fā)展，濺射靶材在濺射技術(shù)中起到了越來越重要的作用，濺射靶材的質(zhì)量直接影響到了濺射后的成膜質(zhì)量。

在濺射靶材制造領(lǐng)域中，靶材組件是由符合濺射性能的靶坯、與靶坯通過焊接相結(jié)合的背板構(gòu)成。在濺射過程中，靶材組件所處的工作環(huán)境比較惡劣。例如：靶材組件的背板一側(cè)通過一定壓力的冷卻水強(qiáng)冷，而靶坯一側(cè)則處于高溫真空環(huán)境下，因此在靶材組件的相對(duì)兩側(cè)形成巨大的壓力差；再者，靶坯一側(cè)受到高壓電場(chǎng)和強(qiáng)磁場(chǎng)中各種粒子的轟擊，有大量熱量產(chǎn)生。在如此惡劣的環(huán)境下，為了確保薄膜質(zhì)量的穩(wěn)定性以及靶材組件的質(zhì)量，對(duì)靶坯和背板的質(zhì)量以及焊接結(jié)合率的要求越來越高，否則容易導(dǎo)致所述靶材組件在受熱條件下發(fā)生變形、開裂等問題，從而影響成膜質(zhì)量，甚至對(duì)濺射基臺(tái)造成損傷。

但是，現(xiàn)有技術(shù)靶材組件的性能有待提高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問題是提供一種靶坯及其加工方法，提高靶材組件的性能。

為解決上述問題，本發(fā)明提供一種靶坯的加工方法，包括：提供靶坯，所述靶坯具有濺射面以及與所述濺射面相對(duì)的焊接面；對(duì)所述焊接面進(jìn)行機(jī)械加工，在所述焊接面上形成平面螺紋，所述平面螺紋的牙型為三角形。

可選的，所述平面螺紋的牙型角為50度至70度。

可選的，所述平面螺紋的螺距為0.6毫米至0.8毫米。

可選的，所述平面螺紋的螺高為0.51毫米至0.71毫米。

可選的，所述機(jī)械加工的工藝為車削加工；對(duì)所述焊接面進(jìn)行機(jī)械加工的步驟包括：提供螺紋刀片；采用所述螺紋刀片對(duì)所述焊接面進(jìn)行粗車加工；對(duì)所述焊接面進(jìn)行粗車加工后，采用所述螺紋刀片對(duì)所述焊接面進(jìn)行精車加工。

可選的，所述靶坯的形狀為圓柱體；對(duì)所述焊接面進(jìn)行機(jī)械加工的步驟中，所述螺紋刀片以所述焊接面圓心為起點(diǎn)沿徑向進(jìn)行移動(dòng)。

可選的，所述平面螺紋的牙型角為60度；所述螺紋刀片為60度螺紋刀片。

可選的，所述粗車加工的次數(shù)為5次，所述粗車加工的參數(shù)包括：吃刀量為0.09毫米至0.11毫米，靶坯轉(zhuǎn)速為190轉(zhuǎn)/分鐘至210轉(zhuǎn)/分鐘。

可選的，所述精車加工的次數(shù)為1次，所述精車加工的參數(shù)包括：吃刀量為0.009毫米至0.011毫米，靶坯轉(zhuǎn)速為190轉(zhuǎn)/分鐘至210轉(zhuǎn)/分鐘。

可選的，所述靶坯的材料為高純鋁，高純鋁中鋁的含量為99.9％至99.999％。

相應(yīng)的，本發(fā)明提供一種靶坯，包括：濺射面；與所述濺射面相對(duì)的焊接面，所述焊接面上具有平面螺紋，所述平面螺紋的牙型為三角形。

可選的，所述平面螺紋的牙型角為50度至70度。

可選的，所述平面螺紋的螺距為0.6毫米至0.8毫米。

可選的，所述平面螺紋的螺高為0.51毫米至0.71毫米。