[發明專利]測厚設備及基板玻璃的測厚方法

在審

• 申請號: 201710156531.3
• 申請日: 2017-03-16
• 公開（公告）號: CN106949870A
• 公開（公告）日: 2017-07-14
• 發明（設計）人: 崔海艦;鄭權
• 申請（專利權）人: 東旭科技集團有限公司;東旭集團有限公司
• 主分類號: G01B21/08
• 分類號: G01B21/08
• 代理公司: 北京潤平知識產權代理有限公司11283
• 代理人: 李翔,李健

1.測厚設備，其特征在于，該測厚設備包括：

測量平臺(2)；

第一運動單元(3)，該第一運動單元(3)沿所述測量平臺(2)的縱向方向安裝在所述測量平臺(2)的側部，所述第一運動單元(3)包括能夠沿所述測量平臺(2)的縱向方向來回移動的第一滑塊(3-1)；

第二運動單元(4)，該第二運動單元(4)沿所述測量平臺(2)的橫向方向設置在所述測量平臺(2)上，并且所述第二運動單元(4)與所述第一運動單元(3)的第一滑塊(3-1)連接，所述第二運動單元(4)包括能夠沿所述測量平臺(2)的橫向方向來回移動的第二滑塊(4-1)；以及

傳感器(6)，所述傳感器(6)朝向所述測量平臺(2)安裝在所述第二滑塊(4-1)上。

2.根據權利要求1所述的測厚設備，其特征在于，所述測厚設備包括一個所述第一運動單元(3)，所述第二運動單元(4)的一端連接于所述第一滑塊(3-1)，所述第二運動單元(4)的另一端設有移動機構，所述移動機構設置在所述測量平臺(2)上，且沿所述測量平臺(2)的縱向方向移動。

3.根據權利要求2所述的測厚設備，其特征在于，所述移動機構為包括輪支架(4-4)和安裝于所述輪支架(4-4)的多個支撐輪(4-5)，所述輪支架(4-4)連接于所述第二運動單元(4)的一端上，多個所述支撐輪(4-5)隨所述第二運動單元(4)的另一端沿所述測量平臺(2)的縱向方向滾動。

4.根據權利要求1所述的測厚設備，其特征在于，所述測厚設備包括同步的兩個所述第一運動單元(3)，兩個所述第一運動單元(3)分別設置在所述測量平臺(2)的兩個縱向側，所述第二運動單元(4)的兩端分別連接兩個所述第一運動單元(3)的第一滑塊(3-1)。

5.根據權利要求2所述的測厚設備，其特征在于，所述第一運動單元(3)還包括第一導軌(3-2)，所述第一導軌(3-2)沿所述測量平臺(2)的縱向方向固定設置于所述測量平臺(2)的側部，所述第一滑塊(3-1)設置在所述第一導軌(3-2)上，并能夠沿所述第一導軌(3-2)移動；

所述第二運動單元(4)還包括支撐架(4-7)和第二導軌(4-2)，所述支撐架(4-7)沿所述測量平臺(2)的橫向方向布置，所述支撐架(4-7)連接于所述第一滑塊(3-1)，并且能夠與所述第一滑塊(3-1)同步移動，所述第二導軌(4-2)設置在所述支撐架(4-7)上，所述第二滑塊(4-1)設置在所述第二導軌(4-2)上，所述第二滑塊(4-1)能夠沿所述第二導軌(4-2)移動。

6.根據權利要求1所述的測厚設備，其特征在于，所述第一運動單元(3)還包括第一驅動機構，所述第一驅動機構包括第一驅動電機(3-7)和第一絲杠(3-6)，所述第一絲杠(3-6)沿所述縱向方向設置在所述第一導軌(3-2)上，所述第一絲杠(3-6)與所述第一驅動電機(3-7)連接，所述第一滑塊(3-1)設有與所述第一絲杠(3-6)配合的第一螺紋孔，所述第一絲杠(3-6)貫穿所述第一螺紋孔，所述第一驅動電機(3-7)驅動所述第一絲杠(3-6)旋轉，以使得所述第一滑塊(3-1)移動；

所述第二運動單元(4)還包括第二驅動機構，所述第二驅動機構包括第二驅動電機(4-6)和第二絲杠(4-3)，所述第二驅動電機(4-6)設置在所述第一滑塊(3-1)上，所述第二絲杠(4-3)沿所述橫向方向設置在所述第二導軌(4-2)上，所述第二絲杠(4-3)與所述第二驅動電機(4-6)連接，所述第二滑塊(4-1)設有與所述第二絲杠(4-3)配合的第二螺紋孔，所述第二絲杠(4-3)貫穿所述第二螺紋孔，所述第二驅動電機(4-6)驅動所述第二絲杠(4-3)旋轉，以使得所述第二滑塊(4-1)移動。

7.根據權利要求6所述的測厚設備，其特征在于，所述第一驅動機構還包括第一聯軸器(3-3)，所述第一絲杠(3-6)通過所述第一聯軸器(3-3)與所述第一驅動電機(3-7)連接；所述第二驅動機構包括第二聯軸器，所述第二絲杠(4-3)通過所述第二聯軸器與所述第二驅動電機(4-6)連接。

8.根據權利要求6所述的測厚設備，其特征在于，所述測量平臺(2)的側部的兩端分別設有第一驅動電機安裝板(3-4)和第一絲杠安裝板(3-5)，所述第一驅動電機(3-7)安裝在所述第一驅動電機安裝板(3-4)上，所述第一絲杠(3-6)安裝在所述第一絲杠安裝板(3-5)上。